-
1.发明公开Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten 失效Verfahren zur Herstellung Wismut-substitutionierter ferrimagnetischer Granatschichten。
公开(公告)号：EP0167213A2
公开(公告)日：1986-01-08
申请号：EP85201046.1
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
摘要： Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten durch Hf-Kathodenzerstäubung unter Einsatz eines Targets, daß die am Schichtaufbau beteiligten Elemente enthält in Form von Oxiden und Wismut in Form einer Oxidverbindung mit bestimmter Stöchiometrie, in der Wismut und mindestens ein am Schichtaufbau beteiligtes Element mit einer deutlich unter der Zerstäubungsrate für Wismut liegenden Zerstäubungsrate auf festen Gitterplätzen eingebaut ist. Von Vorteil ist der Einsatz einer Magnetron-Kathode.
摘要翻译： 这些层通过HF-阴极溅射使用包含以氧化物和铋的形式的层结构中涉及的元素的目标产生，所述氧化物和铋以具有限定的化学计量的氧化物化合物的形式，其中铋和至少一种元素 层状结构并且具有显着低于铋的溅射速率的掺杂在固定晶格点上。 使用磁控管阴极是有利的。
-
2.发明授权Verfahren zur Herstellung Wismut-substituierter ferrimagnetischer Granatschichten 失效生产由BISMUTH取代的FERRIMAGNE GARNET层的方法
公开(公告)号：EP0167213B1
公开(公告)日：1991-05-15
申请号：EP85201046.1
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
-
3.发明公开Verfahren zur Abscheidung mikrokristalliner Festkörperpartikel aus der Gasphase mittels Chemical Vapour Deposition (CVD) 失效通过化学气相沉积（CVD）的沉积方法由气相微晶固体颗粒的方法。
公开(公告)号：EP0425056A1
公开(公告)日：1991-05-02
申请号：EP90202845.5
申请日：1990-10-25
CPC分类号： C23C16/46 , C23C16/271 , C23C16/32
摘要： Verfahren zur Abscheidung mikrokristalliner Festkörperpartikel aus einer Kohlenstoff-haltige Gase enthaltenden Gasphase mittels Chemical Vapour Deposition (CVD), bei dem die abzuscheidenden Festkörperpartikel bei einem Druck im Bereich von 10⁻⁵ bis 1 bar an einem, auf eine Temperatur im Bereich von 450 bis 1200 °C aufgeheizten Substrat abgeschieden werden und bei dem die chemischen Gasphasenreaktionen in der thermisch durch einen Widerstandsheizleiter angeregten Gasphase erfolgen, wobei ein aus einem Carbid mindestens eines Übergangsmetalls aus den Nebengruppen IVa bis des Periodischen Systems der Elemente (PSE) mit einem einer stöchiometrischen Zusammensetzung mindestens nahezu entsprechenden Gehalt an gebundenem Kohlenstoff und mit einem Schmelzpunkt > 2000 °C hergestellter Widerstandsheizleiter eingesetzt wird.
摘要翻译： 从10 <-5>至1巴的范围内从气相包含通过化学气相沉积（CVD）含碳气体，其中待沉积的固体颗粒沉积沉积微晶固体颗粒，在压力处理， 上加热至的范围内的温度从450到1200℃的基板，其中，所述化学气相反应采取在气相中激发热处通过电阻加热导体，从碳化物产生的电阻加热导体的至少 从子组IVA为...元素周期表中的一种过渡金属，具有结合的碳对应的至少几乎化学计量组合物的含量和具有> 2000℃的熔点，被使用。
-
4.发明公开Method of producing layers of ferrimagnetic garnet substituted by bismuth 失效生产由BISMUTH取代的FERRIMAGNIC GARNET层的方法
公开(公告)号：EP0167213A3
公开(公告)日：1988-05-04
申请号：EP85201046
申请日：1985-07-01
CPC分类号： C23C14/08 , H01F10/245 , H01F41/186
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.011 秒)
