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1.

发明公开
IMPROVED SOLVENTS FOR ACETYLENE FLUID STORAGE 审中-公开

公开(公告)号：EP4107236A1

公开(公告)日：2022-12-28

申请号：EP21712281.1

申请日：2021-02-18

申请人： Praxair Technology, Inc.

发明人： SONG, Xuemei , KANE, William, S. , SINHA, Ashwini, K.

IPC分类号： C10L3/04

2.

发明公开
ACETYLENE FLUID SUPPLY PACKAGE, SYSTEM COMPRISING THE SAME AND METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME 审中-公开

公开(公告)号：EP4294960A1

公开(公告)日：2023-12-27

申请号：EP22707950.6

申请日：2022-02-11

申请人： Praxair Technology, Inc. , Samsung Electronics Co., Ltd.

发明人： SINHA, Ashwini, K. , SONG, Xuemei , KANE, William, S. , CHO, Youn-Joung , CHUNG, Wonwoong , HAN, Yeonock

IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/26 , C10L3/04 , F17C11/00

3.

发明公开
DOPANT FLUID STORAGE AND DISPENSING SYSTEMS UTILIZING HIGH PERFORMANCE, STRUCTURALLY MODIFIED PARTICULATE CARBON ADSORBENTS 审中-公开

公开(公告)号：EP4072723A1

公开(公告)日：2022-10-19

申请号：EP20816844.3

申请日：2020-11-10

申请人： Praxair Technology, Inc.

发明人： STEPHENSON, Neil, A. , HEIDERMAN, Douglas, C. , SINHA, Ashwini, K. , MASIN, Rachael, A. , SWINDLEHURST, Garrett, R. , HOOVER, Cynthia, A. , KANE, William, S.

IPC分类号： B01J20/20 , B01J20/28 , B01D53/04