公开(公告)号：EP4136668A1

公开(公告)日：2023-02-22

申请号：EP21787749.7

申请日：2021-04-08

申请人： Rasirc, Inc.

发明人： SPIEGELMAN, Jeffrey J. ,  ALVAREZ, Daniel Jr.

IPC分类号： H01L21/67 ,  C23C16/44 ,  H01J37/32 ,  G03F7/20

公开(公告)号：EP3710126A1

公开(公告)日：2020-09-23

申请号：EP18877730.4

申请日：2018-11-16

申请人： Rasirc, Inc.

发明人： BLETHEN, Richard D. ,  SPIEGELMAN, Jeffrey J. ,  HOLMES, Russell J. ,  ALVAREZ, Daniel, Jr. ,  YANG, Jian ,  SPEED, Ericca, Lynne

IPC分类号： B01D5/00 ,  B01F3/02 ,  C10J1/08 ,  C23C16/442 ,  H01L21/306 ,  H01L21/54 ,  H01L23/20

公开(公告)号：EP3442691A1

公开(公告)日：2019-02-20

申请号：EP17783234.2

申请日：2017-04-14

申请人： Rasirc, Inc.

发明人： ALVAREZ, JR., Daniel ,  HOLMES, Russell J. ,  SPIEGELMAN, Jeffrey J. ,  HEINLEIN, Edward ,  RAMOS, Christopher ,  TRAMMEL, Jeremiah

IPC分类号： B01F3/02 ,  B01D53/44 ,  B01D53/77 ,  B01J20/292 ,  H01G4/06