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    Method of cleaning semiconductor wafers
    3.
    发明公开
    Method of cleaning semiconductor wafers 有权
    Verfahren zur Reinigung eines Halbleiter-Wafers

    公开(公告)号：EP2209134A2

    公开(公告)日：2010-07-21

    申请号：EP10150643.4

    申请日：2010-01-13

    申请人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC

    发明人： Barr, Robert K. ,  Chan, Raymond ,  Moynihan, Matthew L.

    IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L31/00

    CPC分类号： H01L21/02052

    摘要： A method of cleaning semiconductor wafers using an acid cleaner followed by an alkaline cleaner to clean contaminants from the materials is provided. The acid cleaner removes substantially all of the metal contaminants while the alkaline cleaner removes substantially all of the non-metal contaminants, such as organics and particulate material.

    摘要翻译： 提供了一种使用酸性清洁剂和碱性清洁剂清洁半导体晶片以清除材料中的污染物的方法。 酸性清洁剂基本上除去所有金属污染物，而碱性清洁剂基本上除去了所有非金属污染物，例如有机物和颗粒物质。

    Waveguide compositions and waveguides formed therefrom
    6.
    发明公开
    Waveguide compositions and waveguides formed therefrom 有权
    ZusammensetzungenfürWellenleiter und daraus hergestellte Wellenleiter

    公开(公告)号：EP1586603A1

    公开(公告)日：2005-10-19

    申请号：EP05252238.0

    申请日：2005-04-09

    申请人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC

    发明人： Shelnut, James G. ,  Pugliano, Nicola ,  Moynihan, Matthew L. ,  Zheng, Hai Bin ,  Lundy, Daniel E. ,  Pawlowski, Nathan

    IPC分类号： C08K5/00 ,  G03F7/075 ,  C09D183/04 ,  G02B1/04 ,  G02B6/12

    CPC分类号： G02B1/045 ,  C09D183/04 ,  G02B6/138 ,  G02B2006/1215 ,  C08L83/04 ,  C08L2666/02

    摘要： Provided are compositions which include a polymer, having units of the formula (RSiO 1.5 ), wherein R is a substituted or unsubstituted organic group, and a plurality of functional end groups. A first component is provided for altering the solubility of the composition in a dried state upon activation. A second component contains a plurality of functional groups chosen from epoxides, oxetanes, vinyl ethers and combinations thereof. The second component is present in an effective amount to improve flexibility of the composition in a dried state before and after activation. Also provided are flexible optical waveguides, methods of forming flexible optical waveguides and electronic devices that include a flexible optical waveguide.

    摘要翻译： 提供了包含具有式（RSiO 1.5）单元的聚合物的组合物，其中R是取代或未取代的有机基团，以及多个官能端基。 提供了第一组分，用于在活化时改变组合物在干燥状态下的溶解度。 第二组分含有选自环氧化物，氧杂环丁烷，乙烯基醚及其组合的多个官能团。 第二组分以有效量存在，以提高组合物在活化前后的干燥状态下的柔韧性。 还提供了柔性光波导，形成柔性光波导的方法和包括柔性光波导的电子器件。