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1.发明公开VAPOR DELIVERY SYSTEM USEFUL WITH ION SOURCES AND VAPORIZERS FOR USE IN SUCH SYSTEM 审中-公开FÜRIONENQUELLEN VERWENDBARES DAMPFABGABESYSTEM UND VERDAMPFER ZUR VERWENDUNG IN EINEM SOLCHEN SYSTEM
公开(公告)号：EP2027395A4
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：EP07812115
申请日：2007-06-12
申请人： SEMEQUIP INC
发明人： ADAMS DOUGLAS R , OVED DROR , HORSKY THOMAS N
IPC分类号： F16D49/00
CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/228 , H01J37/02 , H01J37/32412 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
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公开(公告)号：EP2027592A4
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：EP07845176
申请日：2007-06-12
申请人： SEMEQUIP INC
发明人： SACCO GEORGE , ADAMS DOUGLAS R , OVED DROR , HORSKY THOMAS N , HARTNETT DAVID J
IPC分类号： H01J27/00
CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/228 , H01J37/02 , H01J37/32412 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
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