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发明公开
VAPOR DELIVERY TO DEVICES UNDER VACUUM 审中-公开
标题翻译：蒸汽供应DEVICES真空

公开(公告)号：EP2026889A4

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：EP07812100

申请日：2007-06-11

申请人： SEMEQUIP INC

发明人： ADAMS DOUGLAS R , SINCLAIR FRANK , COPERTINO BRENT M

IPC分类号： B01D1/26

CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/228 , H01J37/02 , H01J37/32412 , H01J2237/006 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/31701