公开(公告)号：EP2026116A1

公开(公告)日：2009-02-18

申请号：EP07405226.7

申请日：2007-07-31

申请人： SERCALO MICROTECHNOLOGY LTD.

发明人： Marxer, Cornel ,  Herbst, Peter ,  Zickar, Michael ,  Noell, Wilfried

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0841

摘要： Ein Mikrospiegelvorrichtung (21) umfasst einen elektrostatisch aktuierbaren Mikrospiegel (25) sowie einen Rahmen (27) und eine Basis (9). Der Mikrospiegel (25) ist über den Rahmen (27) kardanisch in der Basis (9) aufgehängt, indem er über zwei Gelenkverbindungen mit dem Rahmen (27) und der Rahmen (27) über zwei weitere Gelenkverbindungen mit der Basis (9) verbunden ist. Auf diese Weise kann der Mikrospiegel (25) durch Anlegen einer elektrischen Spannung an entsprechend positionierte Elektroden (45,46,47) akutiert, d. h. eine oder beide der durch die zwei Paare von Gelenkverbindungen definierten Drehachsen geschwenkt werden. Der Mikrospiegel (25) ist nun derart aufgehängt, dass die beiden Gelenkverbindungen, welche eine der beiden Drehachse definieren, je eine Torsionsfeder (31.1,31.2) und die beiden anderen Gelenkverbindungen, welche die andere der beiden Drehachsen definieren, je eine Biegefeder (35.1,35.2) umfassen.

摘要翻译： 该装置具有带有基部结构（9）的反射镜组件（21），微反射镜（25）和布置在基底结构和微反射镜之间的框架结构，其中组件具有半导体层，例如， 硅层（3）。 微镜通过限定微镜的相应旋转轴（13,17）的接合连接与框架和基座结构连接。 旋转轴的角度大于0度。 限定旋转轴（13）的连接具有扭转弹簧（31.1,31.2），并且限定旋转轴线（17）的另一连接件具有螺旋弹簧（35.1,35.2）。 微镜装置的制造方法也包含独立的权利要求。

公开(公告)号：EP2028525A1

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：EP08405191.1

申请日：2008-07-31

申请人： SERCALO MICROTECHNOLOGY LTD.

发明人： Marxer, Cornel ,  Noell, Wilfried

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0841

摘要： Ein Mikrospiegelvorrichtung (21) umfasst einen elektrostatisch aktuierbaren Mikrospiegel (25) sowie einen Rahmen (27) und eine Basis (9). Der Mikrospiegel (25) ist über den Rahmen (27) kardanisch in der Basis (9) aufgehängt, indem er über zwei Gelenkverbindungen mit dem Rahmen (27) und der Rahmen (27) über zwei weitere Gelenkverbindungen mit der Basis (9) verbunden ist. Auf diese Weise kann der Mikrospiegel (25) durch Anlegen einer elektrischen Spannung an entsprechend positionierte Elektroden akutiert, d. h. eine oder beide der durch die zwei Paare von Gelenkverbindungen definierten Drehachsen geschwenkt werden. Der Mikrospiegel ist nun derart aufgehängt, dass die beiden Gelenkverbindungen, welche eine der beiden Drehachse definieren, je eine Torsionsfeder und die beiden anderen Gelenkverbindungen, welche die andere der beiden Drehachsen definieren, je eine Biegefeder umfassen.

摘要翻译： 微镜器件具有由半导体层，特别是硅层（3）构成的反射镜装置（21）。 提供了基部结构，微镜和框架结构，其中框架结构布置在基部结构和微镜之间。 铰链连接件具有限定扭转弹簧（31.1,31.2）的旋转轴线（13），并且连接件还具有限定螺旋弹簧（35.1,35.2）的另一旋转轴线（17）。 微镜装置的制造方法包含独立权利要求。