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1.

发明授权
Verfahren zum Planarisieren 有权
标题翻译：一种方法平坦化

公开(公告)号：EP0905754B1

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：EP98115931.2

申请日：1998-08-24

申请人： SEZ AG

发明人： Kruwinus, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing. , Sellmer, Reinhard, Dipl.-Ing. (FH)

IPC分类号： H01L21/3105 , H01L21/321 , H01L21/311 , H01L21/3213 , C23F3/06

CPC分类号： C23F1/20 , C23F1/18 , H01L21/31055 , H01L21/31111 , H01L21/32115 , H01L21/32134