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    Microlens forming method
    1.
    发明公开
    Microlens forming method 失效
    Verfahren zur Herstellung von Mikrolinsen。

    公开(公告)号：EP0517163A1

    公开(公告)日：1992-12-09

    申请号：EP92109293.8

    申请日：1992-06-02

    申请人： SONY CORPORATION

    发明人： Tsumori, Toshiro

    IPC分类号： G03F7/00 ,  G02B3/00

    CPC分类号： G02B3/0018 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/001

    摘要： The method of forming a microlens made of a thermoplastic resin on a solid-state imaging device (1), includes the steps of forming a resist pattern (3a) having an opening (4) as a microlens forming portion on the solid-state imaging device (1), filling the opening (4) with the thermoplastic resin (2a), removing the resist pattern (3a), and thermally deforming the thermoplastic resin (2a) in the opening (4). With the method according to the invention a microlens having a desired shape can be formed with a fine lens pattern of 0.5 µm or less uniformly and highly accurately.

    摘要翻译： 在固态成像装置（1）上形成由热塑性树脂制成的微透镜的方法包括以下步骤：在固态成像装置（1）上形成具有作为微透镜形成部分的开口（4）的抗蚀剂图案（3a） 装置（1），用热塑性树脂（2a）填充开口（4），去除抗蚀剂图案（3a），并使开口（4）中的热塑性树脂（2a）热变形。 利用根据本发明的方法，可以均匀且高度准确地形成具有期望形状的微透镜，其具有0.5μm或更小的精细透镜图案。