公开(公告)号：EP1162748B1

公开(公告)日：2004-11-17

申请号：EP01401421.1

申请日：2001-05-31

申请人： STMicroelectronics S.A.

发明人： Bianchi, Raul Andés ,  Froment, Benoît

IPC分类号： H03M1/10

CPC分类号： H03M1/109 ,  H03M1/78

公开(公告)号：EP1162748A1

公开(公告)日：2001-12-12

申请号：EP01401421.1

申请日：2001-05-31

申请人： STMicroelectronics S.A.

发明人： Bianchi, Raul Andés ,  Froment, Benoît

IPC分类号： H03M1/10

CPC分类号： H03M1/109 ,  H03M1/78

摘要： Le dispositif comprend une structure capacitive SCA possédant un noeud d'entrée ND 0 et n noeuds de sortie ND i , r condensateurs intégrés C connectés en série entre deux noeuds voisins, un condensateur intégré C connecté entre le noeud d'entrée ND 0 et la masse, un condensateur intégré C connecté entre le n ème noeud de sortie ND 1 et la masse, r branches capacitives BR i connectées en parallèle entre la masse et chaque noeud de la structure capacitive incluant le premier noeud de sortie ND 1 et le n-1 ème noeud de sortie ND n-1 , chaque branche BR i comportant r+1 condensateurs intégrés C connectés en série, tous les condensateurs C de la structure capacitive étant théoriquement identiques.
Des moyens de charge MCH chargent chaque noeud de la structure capacitive. Des moyens de mesure S i , Amp mesurent la charge en chacun des noeuds de la structure, et des moyens de comparaison comparent chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée.

摘要翻译： 控制装置（DCA）包括具有输入节点（ND0）和n个输出节点（ND1，...，NDn）的电容结构（SCA），其中n大于或等于2，则r个积分电容器（C） 在相邻节点之间串联连接，其中r大于或等于1，例如。 r = 1，连接在输入节点和地之间以及输出与地面的第n个节点之间的集成电容器（C），r电容分支并联连接在地和每个节点之间，包括第一节点 输出和输出的第（n-1）个节点，其中每个分支BRi（i = 1，...，n-1）包括r + 1，例如。 串联连接的集成电容器（C）和全部电容器（C）在理论上是相同的。 该装置还包括包括参考电压源（STR）和受控开关（Sv）的充电装置（MCH），测量装置包括电流表（Amp）和受控开关（Si），以及比较装置 考虑到预定的公差，节点电荷的测量值达到节点电荷的理论值。 对于电容结构（SCA）的每个节点，该装置还包括用于放电的受控开关（Sres），连接在节点和地之间。 该器件用于控制属于集成电路（IC）的集成电容器，集成电路（IC）位于半导体晶片的区域中，并由切割线划分，其中电容结构插入切割线，电容器框架表面 的电容结构最多等于集成电路电容器的最小表面。 控制方法包括以下步骤：放电所有节点; 所有节点的充电; 测量节点与地面之间的电流表连接; 和电流表断开。