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    Method of manufacturing high resolution organic thin film pattern
    1.
    发明公开
    Method of manufacturing high resolution organic thin film pattern 有权
    一种用于生产具有高分辨率的有机薄膜的图案的方法

    公开(公告)号：EP2343749A2

    公开(公告)日：2011-07-13

    申请号：EP11250012.9

    申请日：2011-01-07

    申请人： Samsung Mobile Display Co., Ltd. ,  SNU R&DB Foundation

    发明人： Suh, Min-Chul ,  Lee, Sin-Doo ,  Choi, Won-Suk ,  Kim, Min-Hoi

    IPC分类号： H01L51/00 ,  H01L51/05

    CPC分类号： H01L51/0016 ,  H01L27/322 ,  H01L51/0003 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/56

    摘要： A method of forming a high resolution organic thin film pattern, the method including forming a first organic layer (130) on a substrate (110); selectively removing the first organic layer by selectively irradiating light energy onto the first organic layer (130), and forming a remaining part of the first organic layer as a sacrifice layer (131); forming a second organic layer (150) on the substrate (110) and the entire surface of the sacrifice layer (131); and lifting off the second organic layer formed on the sacrifice layer (131) by removing the sacrifice layer using a solvent, and forming the remaining second organic layer as a second organic layer pattern (153).

    摘要翻译： 形成高分辨率有机薄膜图案的方法，该方法包括：形成在基片的第一有机层（130）（110）; 选择性地照射光能选择性到第一有机层（130）;以及形成所述第一有机层作为牺牲层（131）的剩余部分去除所述第一有机层; 形成在基板上的第二有机层（150）（110）和所述牺牲层（131）的整个表面上; 和剥离通过使用溶剂去除所述牺牲层，以及形成剩余的第二有机层作为第二有机层图案（153）形成在所述牺牲层（131）上的第二有机层。