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发明公开
PROCEDE DE COMMANDE D'UN MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE 审中-实审

公开(公告)号：EP4341203A1

公开(公告)日：2024-03-27

申请号：EP22732285.6

申请日：2022-05-20

申请人： Silmach , Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) , UNIVERSITE DE FRANCHE COMTE

发明人： SWOROWSKI, Marc , VUILLEMIN, Cédric , AMEUR, Haythem , BOURBON, Gilles , LE MOAL, Patrice

IPC分类号： B81B7/00 , B81B3/00