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发明公开
METHOD FOR REMOVING FLUOROPOLYMER LIFT-OFF LAYER 审中-公开

公开(公告)号：EP4073586A1

公开(公告)日：2022-10-19

申请号：EP20821007.0

申请日：2020-12-11

申请人： Solvay Specialty Polymers Italy S.p.A.

发明人： LEE, Jung-Yul , CHOE, Dong-Cheol , YOON, Min-Soo , PONTA, Laura , BASSI, Mattia

IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/38 , G03F7/40