公开(公告)号：EP1447675A2

公开(公告)日：2004-08-18

申请号：EP03025776.0

申请日：2003-11-11

申请人： Sony Precision Technology Inc.

发明人： Kusumi, Masaaki, Sony Precision Technology Inc. ,  Ohno, Mitsuru, Sony Precision Technology Inc. ,  Okano, Michio, Sony Precision Technology Inc. ,  Nakamori, Hideki ,  Sumiya, Touru ,  Tsunogae, Akitaka ,  Nakada, Tomoyuki ,  Miura, Teruyuki ,  Ohkawara, Yoshihiko

IPC分类号： G01R33/09

CPC分类号： G01R33/09 ,  G01R33/02 ,  Y10T428/1143 ,  Y10T428/1164 ,  Y10T428/1171 ,  Y10T428/1193 ,  Y10T428/31721

摘要： In a magnetic sensor (1) including a substrate (10) having a magnetism-sensitive element (11) formed thereon, a hard membrane (14) is formed on the outermost surface, an organic film (13) to relieve the stress caused by the hard membrane (14) is formed under the hard membrane (14), and an inorganic film (12) to relieve the stress caused by the organic film (13) is formed between the organic film (13) and magnetism-sensitive element (11). Also, an intermediate film formed from an element having a large force of bonding to carbon may be formed between the organic film (13) and hard membrane (14). Thus, the magnetic sensor (MR sensor, for example) can be protected against an external shock.

摘要翻译： 在包括其上形成有磁敏元件（11）的基板（10）的磁传感器（1）中，在最外表面上形成有硬膜（14），以有效的薄膜（13）来减轻由 在硬膜（14）的下方形成有硬膜（14），在有机膜（13）和感磁元件（13）之间形成有机膜（13）所产生的应力的无机膜（12） 11）。 此外，可以在有机膜（13）和硬膜（14）之间形成由具有大的结合力的元素形成的中间膜。 因此，可以保护磁传感器（例如MR传感器）免受外部冲击。