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发明公开
MICROELECTROMECHANICAL DEVICES FOR HIGHER ORDER PASSIVE TEMPERATURE COMPENSATION AND METHODS OF DESIGNING THEREOF 审中-实审

公开(公告)号：EP4423005A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22884837.0

申请日：2022-10-26

申请人： Stathera IP Holdings Inc.

发明人： DARUWALLA, Anosh , MATHEW, Reuble

IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , H03H9/24 , H03H9/125

CPC分类号： B81B2203/05620130101 , B81B7/0019 , G04F5/04