公开(公告)号：EP0676062A1

公开(公告)日：1995-10-11

申请号：EP94902456.0

申请日：1993-12-01

申请人： THE DOW CHEMICAL COMPANY

发明人： BABB, David, A. ,  RICHEY, W., Frank ,  CLEMENT, Katherine, S. ,  MOYER, Eric, S. ,  SORENSON, Marius, W.

IPC分类号： G03F7 ,  C07C43 ,  C07C45 ,  C07C47 ,  C07C49 ,  C07C50 ,  C07C59 ,  C07C65 ,  C07C205 ,  C07C225 ,  C07C255 ,  C07C265 ,  C07D311 ,  C08F2 ,  C08F14 ,  C08F16 ,  H01L21

CPC分类号： G03F7/0046 ,  C07C43/225 ,  C07C43/23 ,  C07C45/65 ,  C07C45/70 ,  C07C45/71 ,  C07C45/74 ,  C07C47/277 ,  C07C47/575 ,  C07C49/255 ,  C07C49/753 ,  C07C49/84 ,  C07C50/32 ,  C07C59/68 ,  C07C59/90 ,  C07C65/28 ,  C07C65/40 ,  C07C205/35 ,  C07C205/45 ,  C07C225/22 ,  C07C255/56 ,  C07C265/12 ,  C07C2603/18 ,  C07D311/18 ,  C08F16/32 ,  C07C47/565

摘要： A polymer has at least one photoactive site and more than one perfluorocyclobutane group. New monomers containing photoactive sites or photoactive precursors and at least one perfluorovinyl group are useful for making such polymers. Processes of making such polymers and the monomers from which they are made are disclosed. The polymers are useful in coatings, photoresists, and other photoactive applications.

摘要翻译： 聚合物具有至少一个光活性位点和多于一个的全氟环丁烷基团。 含有光活性位点或光活性前体和至少一个全氟乙烯基的新单体可用于制备这种聚合物。 公开了制备这种聚合物和制备它们的单体的方法。 聚合物可用于涂料，光致抗蚀剂等。