公开(公告)号：EP1719736B1

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：EP06016763.2

申请日：2001-05-09

申请人： Tokuyama Corporation

发明人： Wakamatsu, Satoru ,  Oda, Hiroyuki

IPC分类号： C01B33/02 ,  C01B33/035 ,  B01J19/24 ,  B01J4/00 ,  B01J10/00 ,  C01B33/027

CPC分类号： B01J19/24 ,  B01J10/005 ,  B01J2219/0009 ,  B01J2219/00094 ,  B01J2219/00159 ,  C01B33/03 ,  Y10S117/902 ,  Y10T117/1016 ,  Y10T117/102 ,  Y10T428/2982

公开(公告)号：EP1719736A1

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：EP06016763.2

申请日：2001-05-09

申请人： TOKUYAMA CORPORATION

发明人： Wakamatsu, Satoru ,  Oda, Hiroyuki

IPC分类号： C01B33/02 ,  C01B33/035 ,  B01J19/24 ,  B01J4/00 ,  B01J10/00 ,  C01B33/027

CPC分类号： B01J19/24 ,  B01J10/005 ,  B01J2219/0009 ,  B01J2219/00094 ,  B01J2219/00159 ,  C01B33/03 ,  Y10S117/902 ,  Y10T117/1016 ,  Y10T117/102 ,  Y10T428/2982

摘要： Foamed polycrystalline silicon having bubbles therein and an apparent density of 2.20 g/cm 3 or less. This silicon generates an extremely small amount of fine grains by crushing and can be easily crushed. There is also provided a method of producing foamed polycrystalline silicon. There is further provided a polycrystalline silicon production apparatus in which the deposition and melting of silicon are carried out on the inner surface of a cylindrical vessel, a chlorosilane feed pipe is inserted into the cylindrical vessel to a silicon molten liquid, and seal gas is supplied into a space between the cylindrical vessel and the chlorosilane feed pipe.

摘要翻译： 具有气泡的发泡多晶硅，表观密度为2.20g / cm 3以下。 该硅通过粉碎产生极少量的细晶粒，并且可以容易地粉碎。 还提供了一种生产泡沫多晶硅的方法。 还提供了一种多晶硅制造装置，其中在圆柱形容器的内表面上进行硅的沉积和熔融，将氯硅烷进料管插入到硅熔融液体的圆筒形容器中，并且供给密封气体 进入圆筒容器和氯硅烷进料管之间的空间。