公开(公告)号：EP2412011A4

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：EP10756743

申请日：2010-03-24

申请人： TOKYO ELECTRON LTD ,  AIR PROD & CHEM

发明人： LEE ERIC M ,  VRTIS RAYMOND NICHOLAS ,  O'NEILL MARK LEONARD ,  HURLEY PATRICK TIMOTHY ,  FAGUET JACQUES ,  MATSUMOTO TAKASHI ,  AKIYAMA OSAYUKI

IPC分类号： H01L21/363 ,  C23C16/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/30 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56

CPC分类号： C23C16/30 ,  C23C16/18 ,  C23C16/401 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/46 ,  C23C16/56