公开(公告)号：EP1895576B1

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：EP06766824.4

申请日：2006-06-16

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. ,  Riken

发明人： MATSUMARU, Shogo, ,  OGATA, Toshiyuki, ,  ISHIKAWA, Kiyoshi, ,  HADA, Hideo, ,  FUJIKAWA, Shigenori ,  KUNITAKE, Toyoki

IPC分类号： G03F7/40 ,  H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/0273 ,  G03F7/405

公开(公告)号：EP1452919B1

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：EP02788697.7

申请日：2002-11-29

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.

发明人： HADA, Hideo, ,  FUJIMURA, Satoshi, ,  IWASHITA, Jun,

IPC分类号： G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111