公开(公告)号：EP0650536B1

公开(公告)日：2000-04-26

申请号：EP92924773.2

申请日：1992-12-02

申请人： TRIKON EQUIPMENTS LIMITED

发明人： DOBSON, Christopher Elberton Old Manor Elberton ,  KIERMASZ, Adrian ,  BEEKMANN, Knut ,  SHEARER, Christine 5 Stanley Street South ,  LING, Edmond ,  WINN, Alan c/o Thornbury Laboratories ,  WILBY, Rob

IPC分类号： C23C16/52 ,  C23C14/54

CPC分类号： H01J37/32082 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3299 ,  H01J2237/3328

摘要： A reactor (10) defines a chamber (11) in which are disposed an upper electrode (12) and a lower workpiece electrode (13). The upper electrode is connected to a R.F. supply whilst the lower electrode is connected to a stress control unit (14). The stress control unit is used to adjust or maintain the effective resistance of the connection between the workpiece electrode (13) and ground.

摘要翻译： 反应器（10）限定其中设置有上电极（12）和下工件电极（13）的腔室（11）。 上电极连接到R.F. 而下电极连接到应力控制单元（14）。 应力控制单元用于调整或维持工件电极（13）与地面之间的连接的有效电阻。