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发明授权
PLASMAVERSORGUNGSEINRICHTUNG 有权

公开(公告)号：EP2097920B1

公开(公告)日：2017-08-09

申请号：EP07817617.9

申请日：2007-10-04

申请人： TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG

发明人： KIRCHMEIER, Thomas , WINDISCH, Hans-Jürgen , KNAUS, Hanns-Joachim , GLÜCK, Michael , HINTZ, Gerd

IPC分类号： H01J37/32 , H03H11/30

CPC分类号： G01R21/06 , G01R23/02 , H01J37/32045 , H02M7/003 , H02M7/5383 , H03H7/40 , H05B41/2806 , H05H1/46 , Y02B20/22