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发明公开
SEMICONDUCTOR MULTILAYER STRUCTURE 审中-公开

公开(公告)号：EP3685450A1

公开(公告)日：2020-07-29

申请号：EP17772017.4

申请日：2017-09-18

申请人： TTY-SÄÄTIÖ SR.

发明人： AHO, Arto , ISOAHO, Riku , TUKIAINEN, Antti , GUINA, Mircea Dorel , VIHERIÄLÄ, Jukka

IPC分类号： H01L33/12 , H01L29/26