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    Shaft sealing apparatus
    2.
    发明公开
    Shaft sealing apparatus 有权
    Wellendichtungsvorrichtung

    公开(公告)号：EP1201975A2

    公开(公告)日：2002-05-02

    申请号：EP01309001.4

    申请日：2001-10-23

    申请人： Teijin Seiki Co., Ltd.

    发明人： Watanabe, Tetsuya c/o Teijin Seiki Co.,Ltd. ,  Mori, Hiroki c/o Teijin Seiki Co.,Ltd. ,  Okuno, Chohei c/o Teijin Seiki Co.,Ltd.

    IPC分类号： F16J15/32

    CPC分类号： F16J15/324 ,  F16J15/006 ,  F16J15/3212 ,  F16J15/3232 ,  F16J15/3236 ,  F16J15/54 ,  H01L21/68792 ,  Y10S277/913

    摘要： Herein disclosed is a shaft sealing apparatus which comprises a vacuum casing (110) formed with a vacuum chamber (111), a driving shaft (130, 140) having an outer cylindrical surface (130b, 140b) and movably extending in the vacuum chamber (111) of the vacuum casing (110), and a sealing ring (153, 163) in the form of an annular ring shape and including a sealing lip (154c, 164c) held in contact with the outer cylindrical surface (130b, 140b) of the driving shaft (130, 140), an annular spring member (155, 165) operative to impart a force to the sealing lip (154c, 164c) to ensure that the sealing lip (154c, 164c) is held in tight contact with the outer cylindrical surface (130b, 140b) of the driving shaft (130, 140), and a peripheral portion (154b, 164b) radially outwardly extending from the sealing lip (154c, 164c), in which the outer cylindrical surface (130b, 140b) of the driving shaft (130, 140) is smaller in surface roughness Ra than 0.1 (µm).

    摘要翻译： 这里公开了一种轴封装置，其包括形成有真空室（111）的真空壳体（110），具有外圆筒形表面（130b，140b）的驱动轴（130,140），并且在真空室中可移动地延伸 111）和密封环（153,163），所述密封环形成为环形形状并且包括与所述外圆柱形表面（130b，140b）保持接触的密封唇（154c，164c） 驱动轴（130,140）的环形弹簧构件（155,165），其可操作以向密封唇（154c，164c）施加力，以确保密封唇（154c，164c）与 驱动轴（130,140）的外圆柱形表面（130b，140b）和从密封唇（154c，164c）径向向外延伸的周边部分（154b，164b），其中外圆柱形表面（130b， 驱动轴（130,140）的表面粗糙度Ra比0.1（μm）小。