公开(公告)号：EP2747190B1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：EP13198695.2

申请日：2013-12-20

申请人： Thales

发明人： Martins, Paolo ,  Bansropun, Shailendra ,  Le Bailiff, Matthieu ,  Ziaei, Afshin

IPC分类号： H01P1/12 ,  H01H59/00

公开(公告)号：EP2747190A1

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：EP13198695.2

申请日：2013-12-20

申请人： Thales

发明人： Martins, Paolo ,  Bansropun, Shailendra ,  Le Bailiff, Matthieu ,  Ziaei, Afshin

IPC分类号： H01P1/12 ,  H01H59/00

摘要： L'invention concerne un système micro électromécanique (MEMS) capacitif à actionneur électrostatique comprenant un empilement (8) comprenant un substrat (4), une ligne de transmission de radiofréquences (3) selon une direction longitudinale (d Long ), une couche diélectrique (5), ledit système comprenant en outre deux piliers (2a ; 2b) disposés sur l'empilement (8) supportant une membrane (1) métallique. La surface supérieure de l'empilement (8) est plane.

摘要翻译： 本发明涉及微机电系统（MEMS）电容的静电致动器包括包括基片（4），无线电频率（3）在纵向方向上的传输线（Dlong），介电层的堆叠（8）（5 ），所述系统还包括布置在支撑膜（1）金属的堆叠（8）上的两个支柱（2a; 2b）。 堆（8）的上表面是平坦的。