公开(公告)号：EP1986471A1

公开(公告)日：2008-10-29

申请号：EP07714103.4

申请日：2007-02-13

申请人： Tokyo Electron Limited ,  National University Corporation Tohoku Unversity

发明人： NOZAWA, Toshihisa ,  MOYAMA, Kazuki ,  OHMI, Tadahiro ,  KAWAMURA, Chuichi ,  YOSHINO, Kimihiko

IPC分类号： H05B33/10 ,  H01L51/50 ,  H05B33/26

CPC分类号： H01L51/0017 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/56

摘要： A substrate process apparatus that forms a light emitting device configured with an organic layer including a light emitting layer on a substrate to be processed, the organic layer being formed between a first electrode and a second electrode, includes an organic layer forming apparatus wherein the organic layer is formed on the first electrode formed on the substrate to be processed; an electrode forming apparatus wherein the second electrode is formed on the organic layer; and an etching apparatus wherein the organic layer is etched.

摘要翻译： 一种衬底处理装置，其形成配置有在被处理衬底上的发光层的有机层的发光器件，形成在第一电极和第二电极之间的有机层包括有机层形成装置，其中有机层 在形成在待处理基板上的第一电极上形成层; 电极形成装置，其中所述第二电极形成在所述有机层上; 以及刻蚀有机层的蚀刻装置。