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    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems
    1.
    发明公开
    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems 有权
    一项所述的光学表面或多透镜光学系统的曲率中心的位置的测量

    公开(公告)号：EP3037800A1

    公开(公告)日：2016-06-29

    申请号：EP14004425.6

    申请日：2014-12-24

    申请人： Trioptics GmbH

    发明人： Oya, Naoji ,  Ruprecht, Aiko ,  Dumitrescu, Eugen

    IPC分类号： G01M11/02 ,  G01B11/255

    CPC分类号： G01M11/08 ,  G01B9/00 ,  G01M11/0221

    摘要： Bei einem Verfahren zur Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen (S1, S2, S3) eines ein- oder mehrlinsigen optischen Systems (P) wird eine Abbildungsoptik (44, 62) bereitgestellt, die mindestens eine Objektebene (39; 39a, 39b) in mindestens eine erste und eine davon verschiedene, aber sich im gleichen Strahlengang befindende zweite Bildebene (47a, 47b, 47c) abbildet. Das optische System (P) wird derart angeordnet, dass sich, unter Berücksichtigung der brechenden Wirkung einer gegebenenfalls im Strahlengang vorgelagerten optischen Fläche (S1, S2) des optischen Systems, eine vermutete Position eines ersten Krümmungsmittelpunkts (K1) in der ersten Bildebene (47a) und eine vermutete Position eines zweiten Krümmungsmittelpunkts (K2) in der zweiten Bildebene (47b) der Abbildungsoptik befindet. Dann wird ein in der Objektebene angeordnetes Objekt (40; 40a, 40b) gleichzeitig oder sequentiell auf die erste und die zweite Bildebene mit Hilfe von Messlicht (41) abgebildet. Mit Hilfe eines ortsauflösenden Lichtsensors (50) werden Reflexe des Messlichts (41) an optischen Flächen (S1, S2, S3) des optischen Systems (P) erfasst. Aus den erfassten Reflexen werden die tatsächlichen Positionen des ersten und des zweiten Krümmungsmittelpunktes berechnet.

    摘要翻译： 一种用于测量单层或多层透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置，规划成像透镜系统对象的同时图像转换成第一和第二图像平面方法。 该光学系统被布置为使得没有第一曲率中心的假想的位置位于在所述摄像透镜系统和第二曲率中心的假定的位置的第一图像平面位于所述成像透镜系统的第二图像平面 。在物平面布置在对象然后在第一和通过测量光的装置的第二图像平面同时或顺序成像。 在光学系统的光学表面上的测量光的反射是由一个空间分辨光传感器来检测。 所述第一和第二曲率中心的实际位置从所检测到的反射计算。