Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Winkeln optischer Oberflächen
    1.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Winkeln optischer Oberflächen 审中-公开
    方法和装置的光学表面的角度的测量

    公开(公告)号:EP1610089A3

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:EP05013341.2

    申请日:2005-06-21

    申请人: Trioptics GmbH

    IPC分类号: G01B11/26

    CPC分类号: G01B11/26 G01M11/005

    摘要: Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Messung von Winkeln oder Winkeländerungen mit hoher Ortsauflösung an spiegelnd reflektierenden Gegenständen, realisierend die Verfahrensschritte :
    - Erzeugung kohärenter Laserlichtstrahlung mittels einer Laserlichtquelle (10),
    - Fokussierung des Laserlichtstrahls auf engen Strahldurchmesser am Ort einer entfernten reflektierenden Fläche (20), die der zu messenden Winkeländerung unterworfen ist, mit Hilfe eines optischen Systems zur Strahlformung (18),
    - Abbilden des reflektierten Laserlichtes auf der Sensorfläche (16) durch ein optisches System (14),
    - Erfassen des Laserlichtflecks auf der Sensorfläche (16),
    - Ermitteln der Lage des Laserlichtflecks relativ zu einer Bezugslage,
    - Bestimmung des Meßwertes der Winkeländerung α anhand der Lageveränderung des Lichtflecks relativ zur Bezugslage.

    Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse einer asphärischen Linsenfläche
    2.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse einer asphärischen Linsenfläche 有权
    用于确定的非球面透镜表面的对称轴的位置的方法和装置

    公开(公告)号:EP1918687A1

    公开(公告)日:2008-05-07

    申请号:EP07011969.8

    申请日:2007-06-19

    申请人: Trioptics GmbH

    CPC分类号: G01B11/272 G01M11/0221

    摘要: Bei einem Verfahren zur Bestimmung der Lage einer Symmetrieachse (20) einer asphärischen Linsenfläche (16) relativ zu einer Bezugsachse (30, 22) wird die Lage des Krümmungsmittelpunktes (21) des sphärischen Anteils der Linsenfläche (16) gemessen, Ferner wird eine Taumelbewegung gemessen, welche die Linsenfläche (16) während einer Drehung um eine Drehachse (30) beschreibt. Aus den auf diese Weise erhaltenen Meßwerten wird die Lage der Symmetrieachse (20) der asphärischen Linsenfläche (16) relativ zu der Drehachse (30) bestimmt Meßwerten. Eine zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung weist einen Autokollimator (36a; 136a) zur Messung des sphärischen Anteils der Linsenfläche (16) auf. Die Taumelbewegung wird mit einem zweiten Autokollimator (36b) oder einem Abstandssensor (136b) gemessen.

    摘要翻译: 所述方法涉及确定开采的非球面透镜表面(16)的球形部分的曲率中心(21)的所述表面位于一个测量窗口的一个区域中的位置,并且透镜表面的径向轮廓的倾斜确定性挖掘。 表面被围绕旋转轴旋转,所以做了表面的另一区域达到入窗口。 轮廓的倾斜度确定的开采在所述表面的区域中的一个。 相对于所述旋转轴的表面的对称轴(20)的位置是确定的,从测量值由倾斜判断开采。 因此独立claimsoft包括用于确定性的采矿装置的非球面相对于参考轴的透镜面的对称轴的位置。

    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems
    3.
    发明公开
    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines ein-oder mehrlinsigen optischen Systems 有权
    一项所述的光学表面或多透镜光学系统的曲率中心的位置的测量

    公开(公告)号:EP3037800A1

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:EP14004425.6

    申请日:2014-12-24

    申请人: Trioptics GmbH

    IPC分类号: G01M11/02 G01B11/255

    摘要: Bei einem Verfahren zur Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen (S1, S2, S3) eines ein- oder mehrlinsigen optischen Systems (P) wird eine Abbildungsoptik (44, 62) bereitgestellt, die mindestens eine Objektebene (39; 39a, 39b) in mindestens eine erste und eine davon verschiedene, aber sich im gleichen Strahlengang befindende zweite Bildebene (47a, 47b, 47c) abbildet. Das optische System (P) wird derart angeordnet, dass sich, unter Berücksichtigung der brechenden Wirkung einer gegebenenfalls im Strahlengang vorgelagerten optischen Fläche (S1, S2) des optischen Systems, eine vermutete Position eines ersten Krümmungsmittelpunkts (K1) in der ersten Bildebene (47a) und eine vermutete Position eines zweiten Krümmungsmittelpunkts (K2) in der zweiten Bildebene (47b) der Abbildungsoptik befindet. Dann wird ein in der Objektebene angeordnetes Objekt (40; 40a, 40b) gleichzeitig oder sequentiell auf die erste und die zweite Bildebene mit Hilfe von Messlicht (41) abgebildet. Mit Hilfe eines ortsauflösenden Lichtsensors (50) werden Reflexe des Messlichts (41) an optischen Flächen (S1, S2, S3) des optischen Systems (P) erfasst. Aus den erfassten Reflexen werden die tatsächlichen Positionen des ersten und des zweiten Krümmungsmittelpunktes berechnet.

    摘要翻译: 一种用于测量单层或多层透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置,规划成像透镜系统对象的同时图像转换成第一和第二图像平面方法。 该光学系统被布置为使得没有第一曲率中心的假想的位置位于在所述摄像透镜系统和第二曲率中心的假定的位置的第一图像平面位于所述成像透镜系统的第二图像平面 。在物平面布置在对象然后在第一和通过测量光的装置的第二图像平面同时或顺序成像。 在光学系统的光学表面上的测量光的反射是由一个空间分辨光传感器来检测。 所述第一和第二曲率中心的实际位置从所检测到的反射计算。

    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems
    6.
    发明公开
    Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems 有权
    多透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置的测量

    公开(公告)号:EP2458363A1

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:EP11009187.3

    申请日:2011-11-19

    申请人: Trioptics GmbH

    IPC分类号: G01M11/02

    CPC分类号: G01M11/0221

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten (K1, K2, K3) optischer Flächen (S1, S2, S3) eines mehrlinsigen optischen Systems (62). Zunächst werden die Abstände zwischen den Flächen (S1, S2, S3) entlang einer Bezugsachse (34) unter Verwendung eines Interferometers (24) gemessen. Anschließend werden die Krümmungsmittelpunkte (K1, K2, K3) der Flächen (S1, S2, S3) unter Verwendung einer optischen Winkelmesseinrichtung (22) gemessen. Bei der Messung der Position des Krümmungsmittelpunkts einer innerhalb des optischen Systems (62) liegenden Fläche (S2, S3) werden die gemessenen Positionen der Krümmungsmittelpunkte (K1, K2) der zwischen dieser Fläche (S2, S3) und der Winkelmesseinrichtung (22) liegenden Flächen (S1, S2) und die zuvor gemessenen Abstände zwischen den Flächen (S1, S2, S3) rechnerisch berücksichtigt. Auf diese Weise wird eine besonders hohe Messgenauigkeit erzielt, weil nicht auf Soll-abstände zurückgegriffen werden muss.

    摘要翻译: 该方法包括沿着使用短相干干涉仪(24)的基准轴(34)计算所述光学表面的多透镜光学系统(62)的(S1-S3)之间的距离。 光学表面的曲率(K1-K3)的中心的位置是使用以光学角度measuremnet装置(22)测得的,基于光学表面的计算的距离。 一个独立的claimsoft包括用于测量在多透镜光学系统的光学表面的曲率中心的位置的设备。

    Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen eines optischen Systems
    7.
    发明公开
    Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen eines optischen Systems 有权
    用于测量的光学系统的光学表面之间的距离的方法和装置

    公开(公告)号:EP2458321A1

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:EP11009186.5

    申请日:2011-11-19

    申请人: Trioptics GmbH

    摘要: Bei einem Verfahren zur Messung von Abständen zwischen optischen Flächen (S1, S2, S3) eines optischen Systems (38) wird der Zentrierzustands des optischen Systems (38) erfasst, indem ein Prüflichtstrahl (50), der sich entlang der Bezugsachse (34) ausbreitet, auf das optische System (38) gerichtet wird. Dieser trifft, nachdem er das optische System (38) vollständig durchtreten hat, auf einen ortsauflösenden optischen Sensor (22) auf, wodurch alle optischen Flächen (S1, S2, S3) des optischen Systems (38) bei der Erfassung des Zentrierzustands berücksichtigt werden. Das optische System wird dann unter Berücksichtigung des zuvor erfassten Zentrierzustands justiert. Anschließend wird das optische System mit einem Messlichtstrahl (50) durchleuchtet, der sich entlang einer Bezugsachse (34) ausbreitet. Anteile des Messlichtstrahls (60), die von den optischen Flächen (S1, S2, S3) reflektiert wurden, werden mit einem Referenzlichtstrahl (52) in einem Interferometer (24) überlagert. Durch Erfassen und Auswerten von Interferenzerscheinungen zwischen den reflektierten Anteilen (60) und dem Referenzlichtstrahl (52) werden die Abstände zwischen den optischen Flächen (S1, S2, S3) entlang der Bezugsachse (34) bestimmt.

    摘要翻译: 该方法包括通过空间分辨通过光学系统(38),以检测光学表面的光学系统的(S1-S3)的定心条件后光学传感器(22)接收检测光(50),该光学系统是基于定心条件调整。 测量照射光学表面上的光束的重叠部分被反射,与干涉仪(24)的参考光束(52)。 沿着参考轴线的光学表面之间的距离是确定的,通过检测和反射部分(60)和参考光束之间的干涉评价的现象开采。 一个独立的claimsoft包括用于测量光学系统的光学区域之间的距离的设备。