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发明授权
Material evaporation system 失效
标题翻译：对于有机材料蒸发系统

公开(公告)号：EP0962260B1

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：EP98109760.3

申请日：1998-05-28

申请人： ULVAC, INC.

发明人： Nagashima, Naoki , Takahashi, Natsuki , Negishi, Toshio , Kashiwabara, Izumi

IPC分类号： B05D7/24 , C23C14/54 , C23C14/12

CPC分类号： B05D1/60 , B01B1/005 , B01J2219/00063 , B01J2219/0009 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/564