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    Vacuum evaporation apparatus
    1.
    发明公开
    Vacuum evaporation apparatus 失效
    Vakuumverdampfungseinrichtung

    公开(公告)号：EP1696049A1

    公开(公告)日：2006-08-30

    申请号：EP06012123.3

    申请日：1998-05-28

    申请人： ULVAC, INC.

    发明人： Nagashima, Naoki ,  Takahashi, Natsuki ,  Negishi, Toshio

    IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24

    CPC分类号： B05D1/60 ,  B01B1/005 ,  B01J19/247 ,  B01J2219/00063 ,  B01J2219/0009 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/564

    摘要： The present invention relates to a vacuum evaporation apparatus comprising a vacuum chamber; an evacuating system connected to said vacuum chamber, for evacuating said vacuum chamber; an organic material evaporation source holding an organic film material therein; an evacuating system connected to said organic material evaporation source for evacuating interior of said organic material evaporation source; and an on-off valve being able to open and close between interior of said organic material evaporation source and_interior of said vacuum chamber.

    摘要翻译： 真空蒸镀装置技术领域本发明涉及真空蒸​​镀装置， 连接到所述真空室的排气系统，用于抽空所述真空室; 在其中保持有机膜材料的有机材料蒸发源; 连接到所述有机材料蒸发源的抽空系统，用于抽空所述有机材料蒸发源的内部; 以及能够在所述有机材料蒸发源的内部和所述真空室的内部之间打开和关闭的开关阀。