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公开(公告)号:EP3080329A4
公开(公告)日:2017-07-19
申请号:EP14869840
申请日:2014-11-19
IPC分类号: C23C14/32 , C23C10/10 , C23C10/20 , C23C10/38 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/16 , C23C14/58 , C23C28/02 , F01D5/28
CPC分类号: C23C14/5846 , C23C10/10 , C23C10/20 , C23C10/38 , C23C14/16 , C23C28/022 , F01D5/288 , F05D2220/32 , F05D2230/90 , F05D2300/177 , F05D2300/611