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发明公开
APPARATUS FOR FORMING GAS BLOCKING LAYER AND METHOD THEREOF 审中-公开
标题翻译： VORRICHTUNG ZUM BILDEN EINER GASSPERRSCHICHT UND VERFAHRENDAFÜR

公开(公告)号：EP2607516A4

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：EP11818360

申请日：2011-08-12

申请人： UNIV KOREA RES & BUS FOUND

发明人： HONG MUNPYO , LEE YOU JONG , JANG YUN-SUNG , LEE JUN YOUNG

IPC分类号： C23C14/20 , C23C14/34 , C23C14/56 , C23C16/54 , G21K1/14 , H01J37/32 , H01J37/34 , H01L21/02 , H01L51/52 , H05B33/04 , H05H3/02

CPC分类号： C23C16/44 , B05D1/62 , C23C14/086 , C23C14/22 , C23C14/225 , C23C14/3464 , C23C14/35 , C23C16/00 , C23C16/22 , H01J37/32357 , H01J37/32422 , H01J37/3417 , H01J37/347 , H01J2237/332 , H01L51/5256