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发明公开
SCANNING PROBE MICROSCOPE AND PROBE PROXIMITY DETECTION METHOD THEREFOR 审中-公开
标题翻译： GRID探针显微镜和探针接近度判定及其方法

公开(公告)号：EP2447723A4

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：EP10792074

申请日：2010-06-21

申请人： UNIV KYOTO

发明人： NISHIMURA KATSUHITO , KAWAKAMI YOICHI , FUNATO MITSURU , KANETA AKIO , HASHIMOTO TSUNEAKI

IPC分类号： G01Q10/06 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q20/04 , G01Q60/22 , G01Q70/06

CPC分类号： G01Q20/04 , G01Q10/045 , G01Q10/065 , G01Q60/22 , G01Q70/06