摘要:
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, die miniaturisierungsfreundlich ist und eine geringe und definiert festlegbare Schalthysterese aufweist. Erfindungsgemäß gelingt die Lösung der Aufgabe dadurch, dass der Ventilkörper (2) mit der Membran (4) verbunden ist und der Ventilkörper eine Öffnung aufweist, die mit einem Stößel (5) verschließbar ist, wobei der Stößel an einem Federelement (3) im Gehäuse so federnd angeordnet ist, dass er eine Sprungeinrichtung bildet und zwei Endlagen einnehmen kann. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Schalten von Gasströmen mit einem beweglichen Ventilkörper, der mit einer an einem Gehäuse angebrachten verschließbaren Öffnung gekoppelt ist und durch eine Membran betätigt wird, welche mit dem Druck des zu steuernden Gasstromes beaufschlagt ist.
摘要:
Die Erfindung betrifft einen Hochtemperatursensor, bei dem auf einem Trägerkörper ein temperaturabhängiger Messwiderstand angeordnet ist und ein Verfahren zu dessen Überprüfung. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und einen Hochtemperatursensor anzugeben, mit denen Messungen in einem Temperatureinsatzbereich von mehr als 1.000°C dauerhaft durchgeführt werden können, wobei der Sensor hohen mechanischen und chemischen Belastungen standhält, kostengünstig hergestellt werden kann und darüber hinaus eine Überwachung der Messgenauigkeit ermöglicht werden soll. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Hochtemperatursensor gelöst, bei dem der Trägerköper (4) aus einem Keramikplättchen besteht und mit einer Nanoschicht (2) aus Al 2 O 3 versehen ist, wobei der Messwiderstand (R M ) in Form einer Interdigitalstruktur (1) aufgebracht ist und die Anschlüsse des Messwiderstandes (R M ) in einer Parallelschaltung mit dem Isolationswiderstand (R I ) des Trägerkörpers und dem kapazitiven Widerstand der Gesamtanordnung über äußeren Anschlussleitungen (6.1, 6.2) mit einer Auswerteelektronik verbunden sind.
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Die Erfindung betrifft einen Hochtemperatursensor, bei dem auf einem Trägerkörper ein temperaturabhängiger Messwiderstand angeordnet ist und ein Verfahren zu dessen Überprüfung. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und einen Hochtemperatursensor anzugeben, mit denen Messungen in einem Temperatureinsatzbereich von mehr als 1.000°C dauerhaft durchgeführt werden können, wobei der Sensor hohen mechanischen und chemischen Belastungen standhält, kostengünstig hergestellt werden kann und darüber hinaus eine Überwachung der Messgenauigkeit ermöglicht werden soll. Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem Hochtemperatursensor gelöst, bei dem der Trägerköper (4) aus einem Keramikplättchen besteht und mit einer Nanoschicht (2) aus Al 2 O 3 versehen ist, wobei der Messwiderstand (R M ) in Form einer Interdigitalstruktur (1) aufgebracht ist und die Anschlüsse des Messwiderstandes (R M ) in einer Parallelschaltung mit dem Isolationswiderstand (R I ) des Trägerkörpers und dem kapazitiven Widerstand der Gesamtanordnung über äußeren Anschlussleitungen (6.1, 6.2) mit einer Auswerteelektronik verbunden sind.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzugeben, die miniaturisierungsfreundlich ist und eine geringe und definiert festlegbare Schalthysterese aufweist. Erfindungsgemäß gelingt die Lösung der Aufgabe dadurch, dass der Ventilkörper (2) mit der Membran (4) verbunden ist und der Ventilkörper eine Öffnung aufweist, die mit einem Stößel (5) verschließbar ist, wobei der Stößel an einem Federelement (3) im Gehäuse so federnd angeordnet ist, dass er eine Sprungeinrichtung bildet und zwei Endlagen einnehmen kann. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Schalten von Gasströmen mit einem beweglichen Ventilkörper, der mit einer an einem Gehäuse angebrachten verschließbaren Öffnung gekoppelt ist und durch eine Membran betätigt wird, welche mit dem Druck des zu steuernden Gasstromes beaufschlagt ist.