公开(公告)号：EP0974156B1

公开(公告)日：2004-10-13

申请号：EP97934252.4

申请日：1997-06-25

申请人： VANDERBILT UNIVERSITY

发明人： KANG, Weng, Poo ,  DAVIDSON, Jimmy, Lee ,  KERNS, David, V., Jr. ,  HOWELL, Mickey E.

IPC分类号： H01J9/02 ,  H01J1/14 ,  H01J1/30

CPC分类号： H01J9/025 ,  B82Y10/00 ,  G01L9/0041 ,  G01L9/0047 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0894 ,  G01P2015/0828 ,  H01J1/3042 ,  H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30407 ,  H01J2201/30457

公开(公告)号：EP0974156A1

公开(公告)日：2000-01-26

申请号：EP97934252.4

申请日：1997-06-25

申请人： VANDERBILT UNIVERSITY

发明人： KANG, Weng, Poo ,  DAVIDSON, Jimmy, Lee ,  KERNS, David, V., Jr.

IPC分类号： H01J9/02 ,  H01J1/14 ,  H01J1/30

CPC分类号： H01J9/025 ,  B82Y10/00 ,  G01L9/0041 ,  G01L9/0047 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0894 ,  G01P2015/0828 ,  H01J1/3042 ,  H01J1/3044 ,  H01J3/022 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/30407 ,  H01J2201/30457

摘要： Diamond microtip field emitters (25) are fabricated for use in diode and triode vacuum microelectronic devices, sensors and displays. Ultra-sharp emitter tips are formed in a fabrication process in which diamond is deposited into mold cavities in a two step deposition sequence. During deposition of the diamond, the graphite content is carefully controlled to enhance emission performance. The tips or the emitters (25) may be treated by post fabrication processes, such as sharpening or doping with gold.

摘要翻译： 制造用于二极管和三极真空微电子器件，传感器和显示器的金刚石微尖端场发射器（25）。 超尖锐的发射器尖端在制造过程中形成，其中金刚石以两步沉积顺序沉积到模腔中。 在金刚石沉积期间，仔细控制石墨含量以增强排放性能。 尖端或发射器（25）可以通过后制造工艺进行处理，例如锐化或用金掺杂。