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公开(公告)号：EP0636941A1
公开(公告)日：1995-02-01
申请号：EP94305124.3
申请日：1994-07-13
发明人： Urano, Fumiyoshi, c/o Tokyo Kenkyusho , Oono, Keiji, c/o Tokyo Kenkyusho , Matsuda, Hiroshi, c/o Tokyo Kenkyusho , Endo, Masayuki , Kobayashi, Satoshi
IPC分类号： G03F7/09 , C07C309/75
CPC分类号： C07C309/75 , G03F7/091
摘要： A deep ultraviolet absorbent comprising at least one compound having one or more glycidyl groups in the molecule and at least one anthracene derivative, and a solvent capable of dissolving these compounds is effective for preventing reflection of deep ultraviolet light from a substrate during formation of resist pattern, resulting in forming ultra-fine patterns without causing notching and halation.
摘要翻译： 深紫外线吸收剂，其包含具有一个或在分子中多个缩水甘油基和至少一个蒽衍生物，以及一种能够溶解合成的化合物是有效的形成抗蚀剂图案的过程中从底物预防深紫外光的反射溶剂的至少一种化合物 ，从而形成超精细的图案，而不会引起切口和光晕。
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公开(公告)号：EP0636941B1
公开(公告)日：1996-03-20
申请号：EP94305124.3
申请日：1994-07-13
发明人： Urano, Fumiyoshi, c/o Tokyo Kenkyusho , Oono, Keiji, c/o Tokyo Kenkyusho , Matsuda, Hiroshi, c/o Tokyo Kenkyusho , Endo, Masayuki , Kobayashi, Satoshi
IPC分类号： G03F7/09 , C07C309/75
CPC分类号： C07C309/75 , G03F7/091
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