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1.发明授权Haltevorrichtung zur Afnahme von scheibenförmigen Gegenständen, insbesondere Halbleiterscheiben, und Verwendung der Haltevorrichtung. 失效对于Afnahme盘形物体的夹持装置，特别是半导体晶片，并利用保持器的。
公开(公告)号：EP0402900B1
公开(公告)日：1994-12-14
申请号：EP90111203.7
申请日：1990-06-13
发明人： Gerber, Hans Adolf, Dipl.-Ing. (FH) , Hochgesang, Georg, Dipl.-Ing. (FH) , Pardubitzki, Alfred, Dipl.-Ing. (FH) , Schmiedlindl, Manfred , Zipf, Werner, Dipl.-Ing.(FH) , Schweighofer, Arthur, Dipl.-Ing. (FH)
CPC分类号： H01L21/68721 , H01L21/68728 , Y10S134/902
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2.发明公开Haltevorrichtung zur Afnahme von scheibenförmigen Gegenständen, insbesondere Halbleiterscheiben, und Verwendung der Haltevorrichtung. 失效对于Afnahme盘形物体的夹持装置，特别是半导体晶片，并利用保持器的。
公开(公告)号：EP0402900A2
公开(公告)日：1990-12-19
申请号：EP90111203.7
申请日：1990-06-13
发明人： Gerber, Hans Adolf, Dipl.-Ing. (FH) , Hochgesang, Georg, Dipl.-Ing. (FH) , Pardubitzki, Alfred, Dipl.-Ing. (FH) , Schmiedlindl, Manfred , Zipf, Werner, Dipl.-Ing.(FH) , Schweighofer, Arthur, Dipl.-Ing. (FH)
CPC分类号： H01L21/68721 , H01L21/68728 , Y10S134/902
摘要： Die angegebene Haltevorrichtung besteht aus einem die aufzunehmende Scheibe (1) berührungsfrei umgebenden, gemeinsam mit der Scheibe transportierbaren Rahmen (2), von dem mindestens drei vorzugsweise tangential zum Außenumfang der Scheibe gerichtete, aus einer Halteposition in eine Freigabeposition überführbare Halteelemente (3) ausgehen. Die Scheibe kann bei vielen mit Transportvorgängen verbundenen Teilschritten des Herstellungsprozesses in der Haltevorrichtung belassen werden, so daß sich eine Vielzahl von die Scheibenoberfläche belastenden Greif- und Freigabevorgängen erübrigt.
摘要翻译： 指定的保持装置包括一个围绕所述盘（1）在无接触的方式被操纵，并与盘和从哪个一起运输的框架（2）至少三个保持元件（3）项目哪个切向是优选 盘和哪个的外圆周可以从保持位置向释放位置被传送。 该光盘可以在保持装置中的许多在制造过程中的从属步骤涉及运输作业，结果没大量夹紧和释放产生应力盘表面变得不必要的操作被留。 ...
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3.发明公开Haltevorrichtung zur Afnahme von scheibenförmigen Gegenständen, insbesondere Halbleiterscheiben, und Verwendung der Haltevorrichtung. 失效用于在DISC表格中操作对象的控制设备（如半导体波形）及其使用方法
公开(公告)号：EP0402900A3
公开(公告)日：1991-12-11
申请号：EP90111203.7
申请日：1990-06-13
发明人： Gerber, Hans Adolf, Dipl.-Ing. (FH) , Hochgesang, Georg, Dipl.-Ing. (FH) , Pardubitzki, Alfred, Dipl.-Ing. (FH) , Schmiedlindl, Manfred , Zipf, Werner, Dipl.-Ing.(FH) , Schweighofer, Arthur, Dipl.-Ing. (FH)
CPC分类号： H01L21/68721 , H01L21/68728 , Y10S134/902
摘要： Die angegebene Haltevorrichtung besteht aus einem die aufzunehmende Scheibe (1) berührungsfrei umgebenden, gemeinsam mit der Scheibe transportierbaren Rahmen (2), von dem mindestens drei vorzugsweise tangential zum Außenumfang der Scheibe gerichtete, aus einer Halteposition in eine Freigabeposition überführbare Halteelemente (3) ausgehen. Die Scheibe kann bei vielen mit Transportvorgängen verbundenen Teilschritten des Herstellungsprozesses in der Haltevorrichtung belassen werden, so daß sich eine Vielzahl von die Scheibenoberfläche belastenden Greif- und Freigabevorgängen erübrigt.
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