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1.

发明授权
A resist composition 有权
标题翻译：抗蚀剂组合物

公开(公告)号：EP1059314B1

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：EP00112208.4

申请日：2000-06-07

申请人： Wako Pure Chemical Industries, Ltd.

发明人： Hujie, Hirotoshi , Maesawa, Tsuneaki , Mori, Yasuyoshi

IPC分类号： C08F212/14 , C08F8/00 , G03F7/039 , G03F7/004

CPC分类号： G03F7/039 , C08F8/00 , C08F8/12 , C08F212/14 , C08F2810/30 , G03F7/0045 , Y10S430/106 , C08F112/14 , C08F220/18 , C08F212/08 , C08F2220/1875