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发明公开
SYSTEMS AND PROCESSES FOR INCREASING SEMICONDUCTOR DEVICE RELIABILITY 审中-公开

公开(公告)号：EP4029055A1

公开(公告)日：2022-07-20

申请号：EP20875483.8

申请日：2020-08-19

申请人： Wolfspeed, Inc.

发明人： JOO, Sung Chul , POWELL, Jack , FARRELL, Donald , MILLON, Bradley

IPC分类号： H01L27/00 , H01L33/62 , H01L23/482 , H01L23/528 , H01L29/872