HERSTELLUNG VON SENSORMODULEN MIT EINEM UNDERFILL-PROZESS

    公开(公告)号:EP4312010A1

    公开(公告)日:2024-01-31

    申请号:EP22187364.9

    申请日:2022-07-28

    摘要: Die Erfindung betrifft ein Sensormodul aufweisend ein Sensorelement, umfassend einen elektrisch isolierenden Träger aufweisend eine erste Seite und eine der ersten Seite gegenüberliegende zweite Seite, wobei eine Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des isolierenden Trägers angeordnet ist und wobei die Widerstandsstruktur mindestens eine Sensorstruktur, mindestens eine Trimmstruktur und mindestens zwei Kontaktpads enthält und ein Substrat aufweisend eine erste Oberfläche mit mindestens zwei darauf angeordneten Leiterstrukturen, wobei das Sensorelement mit der ersten Seite des isolierenden Trägers hin zur ersten Oberfläche des Substrats angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen mindestens einem Kontaktpad des Sensorelements und mindestens einer Leiterstruktur des Substrats eine Lotverbindung ausgebildet ist und dass zwischen dem Sensorelement und dem Substrat zumindest ein polymeres Isolationsmaterial vorliegt und bevorzugt mindestens die Trimmstruktur bedeckt. Weiterhin betriff die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Sensormoduls sowie ein Sensorelement zur Verwendung in dem Sensormodul.