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公开(公告)号：EP3931880A1
公开(公告)日：2022-01-05
申请号：EP20706281.1
申请日：2020-02-26
申请人： trinamiX GmbH
发明人： HERMES, Wilfried , VALOUCH, Sebastian , MUELLER, Sebastian , HOEH, Regina , BECHTEL, Heidi , ALTENBECK, Timo , DITTMANN, Fabian , FEUERSTEIN, Bertram , HUPFAUER, Thomas , HANDRECK, Anke , GUST, Robert , KALETTA, Peter Paul , KAELBLEIN, Daniel , SEND, Robert
IPC分类号： H01L31/09 , H01L31/02 , H01L31/0203 , H01L31/0224 , H01L31/032
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公开(公告)号：EP3912197A1
公开(公告)日：2021-11-24
申请号：EP20700410.2
申请日：2020-01-16
申请人： trinamiX GmbH
发明人： HERMES, Wilfried , VALOUCH, Sebastian , MUELLER, Sebastian , HOEH, Regina , BECHTEL, Heidi , ALTENBECK, Timo , DITTMANN, Fabian , FEUERSTEIN, Bertram , HUPFAUER, Thomas , HANDRECK, Anke , GUST, Robert , SEND, Robert , BRUDER, Ingmar
IPC分类号： H01L31/09 , H01L31/0203 , H01L31/032
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公开(公告)号：EP3580584A1
公开(公告)日：2019-12-18
申请号：EP18702724.8
申请日：2018-02-07
申请人： trinamiX GmbH
发明人： LUNGENSCHMIED, Christoph , BONSIGNORE, Christian , HANDRECK, Anke , BRUDER, Ingmar , SEND, Robert
IPC分类号： G01S17/42 , G01S5/16 , G01S7/481 , H01L51/42 , H01L31/0256
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4.发明公开
公开(公告)号：EP3939092A1
公开(公告)日：2022-01-19
申请号：EP20710934.9
申请日：2020-03-13
申请人： trinamiX GmbH
发明人： HERMES, Wilfried , VALOUCH, Sebastian , MUELLER, Sebastian , HOEH, Regina , BECHTEL, Heidi , ALTENBECK, Timo , DITTMANN, Fabian , FEUERSTEIN, Bertram , HUPFAUER, Thomas , HANDRECK, Anke , GUST, Robert , KALETTA, Peter Paul , SEND, Robert , WAINDOK, Hubert , HENNIG, Ingolf , GURIYANOVA, Svetlana
IPC分类号： H01L31/09 , H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L21/66
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