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1.

发明授权
METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING HIGH PERFORMANCE OPTOELECTRONIC DEVICES 有权

公开(公告)号：EP3630348B1

公开(公告)日：2024-04-24

申请号：EP18734291.0

申请日：2018-05-17

IPC分类号： B01J19/00 , B82Y40/00 , B82Y30/00

CPC分类号： B01J19/0046 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , B01J2219/0030620130101 , B01J2219/0044120130101 , B01J2219/007520130101