POSITIONSBESTIMMUNG EINES BEWEGLICHEN ELEMENTS

    公开(公告)号:EP3361220A1

    公开(公告)日:2018-08-15

    申请号:EP18155780.2

    申请日:2018-02-08

    发明人: Kaulmann, Tim

    IPC分类号: G01D5/00

    CPC分类号: G01D5/00

    摘要: Ein Verfahren zur Positionsbestimmung eines innerhalb eines Gesamtbereichs (50) beweglichen Elements einer Maschine aus einem Messsignal umfasst als einen Schritt ein Bestimmen eines Grenzwerts (54) eines innerhalb des Gesamtbereichs (50) liegenden Teilbereichs (52) von zu einem vorgegebenen Zeitpunkt möglichen Positionen des beweglichen Elements unter Berücksichtigung einer eine Anfangsposition bildenden ersten Position (60) des beweglichen Elements und einer vorgegebenen Randbedingung für eine Bewegung des beweglichen Elements. Das Verfahren umfasst als weitere Schritte ein Einlesen des Messsignals und ein Bestimmen einer zweiten Position (62) des beweglichen Elements als einer Endposition aus dem Messsignal unter Berücksichtigung lediglich des Teilbereichs (52) der zu dem vorgegebenen Zeitpunkt möglichen Positionen.

    WAVELET BASED MONITORING OF SYSTEM PARAMETERS
    2.
    发明公开
    WAVELET BASED MONITORING OF SYSTEM PARAMETERS 审中-公开
    基于小波的监测系统参数

    公开(公告)号:EP3074830A1

    公开(公告)日:2016-10-05

    申请号:EP14809728.0

    申请日:2014-11-12

    IPC分类号: G05B23/02

    摘要: Systems and methods are provided for monitoring parameters within a system. A plurality of sensors each monitor at least one parameter associated with the system. A controller is configured to receive a signal representing the monitored at least one parameter from each of the plurality of sensors and adjust a function of the system based on the received signal. Respective discrete wavelet transform components are associated with each of the plurality of sensors. Each of the discrete wavelet transform components is configured to provide a set of discrete wavelet transform coefficients, representing a content of the signal for its associated sensor, to a discrete wavelet transform monitoring component.

    SYSTEM FOR MEASURING ORTHOGONALITY OF Y-CROSS BEAM AND X-GUIDES OF A STAGE AND METHOD FOR POSITIONING STAGE HOME USING SAME
    4.
    发明公开
    SYSTEM FOR MEASURING ORTHOGONALITY OF Y-CROSS BEAM AND X-GUIDES OF A STAGE AND METHOD FOR POSITIONING STAGE HOME USING SAME 审中-公开
    系统用于测量定位的STUFENRECHTWINKLIGKEIT和方法步骤该平台

    公开(公告)号:EP2930463A1

    公开(公告)日:2015-10-14

    申请号:EP15160518.5

    申请日:2015-03-24

    发明人: Seo, Jong Kyu

    IPC分类号: G01B21/04 G01B21/24

    摘要: Disclosed are a system for measuring the orthogonality of a stage and a method for positioning the stage home using the same. The system for measuring the orthogonality of a stage includes: a first and a second X-axial drive feedback device respectively mounted in a pair of guides respectively arranged in both sides of the stage for measuring and providing a displacement for changing the X-axial position of the stage; a Y-axial drive feedback device mounted in a crossbeam of the stage for measuring and providing a displacement for changing the Y-axial position of the stage; a first and a second X-axial absolute feedback device each mounted at a position in both ends of the crossbeam where the crossbeam intersects with the pair of guides for measuring and providing the position of each of the axes constituting the orthogonality of the stage; and a control unit for controlling the displacement of the stage and detecting a variation of the orthogonality of the stage according to a feedback received from the first and the second X-axial drive feedback device, the Y-axial drive feedback device, and the first and the second X-axial absolute feedback device (Fig. 2).

    摘要翻译: 本发明公开了一种用于测量阶段的正交性和用于定位使用相同的阶段家庭的方法的系统。 用于测量阶段的正交性的系统,包括:第一和分别安装在一对导板在所述平台的bothsides分别设置用于测量和用于改变X轴向位置提供位移的第二X轴驱动反馈装置 的阶段; 安装在载物台,用于测量和用于改变级的Y轴位置提供位移的横梁的Y轴向驱动反馈装置; 第一和第二X轴绝对反馈装置分别安装在其中的横梁与一对用于测量和提供各构成阶段的正交的轴的位置引导件的交叉的横梁的两端部的位置; 和用于控制级的位移和检测阶段雅鼎的正交性,以从第一和第二X轴驱动反馈装置,在Y轴驱动反馈装置,并且第一个接收的反馈的变化的控制单元 和第二X轴绝对反馈装置(图2)。

    Vorrichtung zur Ermittlung einer Neutrallage zweier Bauteile
    6.
    发明公开
    Vorrichtung zur Ermittlung einer Neutrallage zweier Bauteile 审中-公开
    装置用于确定两个部件的中立位置

    公开(公告)号:EP2037223A3

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:EP08163726.6

    申请日:2008-09-05

    IPC分类号: G01D5/245

    CPC分类号: G01D5/00 F16H2059/6823

    摘要: Vorrichtung zur Ermittlung einer Neutrallage zweier relativ zueinander beweglicher Bauteile (1, 2) bestehend aus einer Verstellungseinrichtung zur Bewegung der Bauteile (1, 2) in eine beliebige Relativlage und einem Lagesensor (9) zur Ermittlung der Relativlage, sowie einer an dem ersten Bauteil (1) befindlichen Wegmarkierung (6) und einem an dem zweiten Bauteil (2) befindlichen Markierungssensor (8), welcher die Wegmarkierung (6) in einem Erfassungsbereich (7) erkennen kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Bauteile (1, 2) in der Neutrallage derart zueinander ausgerichtet sind, dass die Wegmarkierung (6) außerhalb des Erfassungsbereichs (7) des Markierungssensors (8) angeordnet ist, wobei der Abstand (10) zwischen dem Erfassungsbereich (7) und der Wegmarkierung (6) bekannt ist und die Vorrichtung eine mit dem Markierungssensor (8) und dem Lagesensor (9) verbundene Datenverarbeitungsanlage beinhaltet, welche bei der Erkennung der Wegmarkierung (6) durch den Markierungssensor (8) mit der von dem Lagesensor (9) ermittelten Relativlage und mit dem bekannten Abstand (10) zwischen dem Erfassungsbereich (7) des Markierungssensors (8) und der Wegmarkierung (6) die Neutrallage ermittelt.

    SYSTEM AND METHOD OF MAGNETICALLY SENSING POSITION OF A MOVING COMPONENT
    8.
    发明公开
    SYSTEM AND METHOD OF MAGNETICALLY SENSING POSITION OF A MOVING COMPONENT 有权
    系统和方法磁记录移动杆的位置

    公开(公告)号:EP1869410A2

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:EP06721113.6

    申请日:2006-02-28

    申请人: SRI International

    IPC分类号: G01D5/14 G01D5/16 F15B15/28

    摘要: A position-sensing system magnetically senses the position of a piston rod moving with respect to a cylinder. A magnetically hard layer on the piston rod provides a recording medium. Information is magnetically recorded in regions of the magnetically hard layer. These regions provide a relative encoding scheme for determining the position of the piston rod. Magnetic-field sensors are positioned over redundant tracks of magnetically recorded regions. Each magnetic-field sensor positioned over a given track senses the same magnetized regions while the piston rod moves with respect to the cylinder. Other magnetic-field sensors can sense ambient fields for use in performing common-mode rejection. A write head can dynamically repair damaged or erased regions detected by the magnetic-field sensors. Energized by a battery-backup power source, the magnetic-field sensors and associated circuitry can continue to track piston rod movement when the machinery is off.