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1.发明授权
公开(公告)号：EP1499879B1
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：EP03717025.5
申请日：2003-04-23
发明人： BURIAN, Matthias , ASCHAUER, Roland
IPC分类号： G01N25/14
CPC分类号： G01N25/08 , G01N25/10 , G01N25/14 , G01N33/28 , Y10S203/19 , Y10T137/0324
摘要： The invention relates to a method for recording the boiling-point curve of liquids, in particular petroleum products and/or solvents, whereby a sample of the liquid under analysis is evaporated and then condensed with monitoring of the vapour temperature and the amount of the liquid evaporated, whereby the sample is dosed by means of a filling device, in particular a pump. The filling device and the chamber for the condensate are at a defined and preferably the same temperature. The condensed volume is determined volumetrically by a known method and the distillation residue of the sample determined by weighing.
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公开(公告)号：EP1645869B1
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：EP05021996.3
申请日：2003-04-23
发明人： Burian, Matthias , Aschauer, Roland
CPC分类号： G01N25/08 , G01N25/10 , G01N25/14 , G01N33/28 , Y10S203/19 , Y10T137/0324
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3.发明公开Sensor cell for measuring the concentration of a component in a two component liquid mixture, apparatus and etching system 有权细胞用于测量双组分液体混合物，的装置的组分的浓度和蚀刻工具
公开(公告)号：EP1296132A1
公开(公告)日：2003-03-26
申请号：EP01122756.8
申请日：2001-09-21
摘要： The present invention refers to a sensor cell for measuring as well as an apparatus for controlling the concentration of a component in a two component liquid mixture. The apparatus of the present invention can particularly be applied to an etching system for etching a silicon nitride layer. The sensor cell (5) for measuring the concentration of a component in a two component liquid mixture, comprises a sample inlet (11) for feeding said mixture into said sensor cell (5), a sample drain (12) for draining said mixture from said sensor cell, a vapour outlet (13) for exhausting an evaporated component from said mixture, an apparatus (14) for setting a temperature of said liquid mixture to a temperature below the boiling point of said liquid mixture, a heating element (15) for elevating the temperature of said liquid mixture to a temperature above the boiling point of said liquid mixture, and a device for calculating the concentration of said component based on the temperature of the liquid versus temperature of the heating element characteristics. The concentration of the component can be assessed by determining the point at which the slope of the temperature of the liquid versus temperature of the heating element characteristics is changed.
摘要翻译： 本发明涉及一种传感器单元，用于测量以及向装置中的双组分液体混合物控制组分的浓度。 本发明的装置可以应用到具体地蚀刻系统用于蚀刻硅氮化物层。 用于测量双组分液体混合物中的成分的浓度的传感器单元（5），包括：样品入口（11），用于从排出所述混合物。所述混合物进料至所述传感器单元（5），一个样品漏极（12） 所述传感器单元，用于在蒸发的成分从所述混合物中，所述液体混合物的温度设定为所述液体混合物的沸点以下的温度下，加热元件排出的装置（14），一个蒸汽出口（13）（15） 用于所述液体混合物的温度升高到所述液体混合物的沸点以上的温度，并用于计算所述成分的基础上，相对于液体的加热元件特性的温度的温度的浓度的装置。 的成分的浓度可以通过确定性采矿来评估在将液体与加热元件特性的温度的温度的斜率变化点。
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4.发明公开Dispositif de positionnement automatique assisté d'une enceinte de chauffage contre un ballon de distillation 有权Automatische Positioniervorrichtung mit einer Heizkammergegenübereinem Destillierkolben
公开(公告)号：EP1967269A1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP08300046.3
申请日：2008-01-22
发明人： Marie, Patrick
摘要： Dispositif de positionnement automatique assisté d'une enceinte de chauffage (2) contre un ballon de distillation (6) dans un appareil de distillation comportant un bâti fixe (1), une enceinte de chauffage (2), une série de ballons de distillation (6), une série de plaques isolantes (4), et des moyens de commande et de régulation,
caractérisé en ce qu'
il comporte :
- un chariot (12) équipé d'un ressort à force constante (13) monté mobile en translation verticale le long du bâti (1) et relié par ce ressort (13) à l'enceinte de chauffage (2) de façon à permettre de déplacer cette enceinte entre une position basse et une position haute dans laquelle la plaque isolante (4) est maintenue contre un ballon de distillation (6),
- des organes de manoeuvre (14) permettant de commander la translation du chariot à ressort (12), et
- des organes de verrouillage (20) mobiles de façon à permettre le blocage de l'enceinte de chauffage (2) en position haute ou le retour de cette enceinte (2) en position basse sous l'action de sa gravité.摘要翻译： 该装置具有沿着蒸馏装置的框架（1）垂直平移安装的托架（12），并通过恒定的力弹簧连接到加热室（2），以将静置和工作位置之间的腔室置换。 控制杆（14）被致动以控制托架的平移和腔室的移位。 锁定单元（20）安装在框架上，并且在联接位置之间移动，在该联接位置中，单元将工作室锁定在工作位置，并且单元在其脱离位置中，单元在其重力下将室从工作位置返回到静止位置。
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公开(公告)号：EP0153707B1
公开(公告)日：1987-11-04
申请号：EP85101919.0
申请日：1985-02-22
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6.发明授权
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7.发明公开Collerette en verre solidaire de la branche latérale de la colonne du ballon de distillation 有权Glasflansch verbunden mit dem Seitenarm derSäuledes Destillierkolbens
公开(公告)号：EP1967268A1
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：EP08300044.8
申请日：2008-01-22
发明人： Marie, Patrick
摘要： Ballon de distillation notamment destiné à un appareil de distillation automatique sous pression atmosphérique d'échantillons liquides, en particulier d'échantillons de produits pétroliers permettant d'effectuer la mesure des paramètres de distillation de ces échantillons en respectant des normes, ce ballon de distillation se prolongeant par une colonne de distillation pouvant être fermée par un bouchon étanche muni d'un thermomètre permettant de mesurer la température des vapeurs évaporées et équipée d'une branche latérale destinée à être branchée sur un tube condenseur relié à un cylindre collecteur permettant de recueillir le condensat, caractérisé en ce que la branche latérale (4) de la colonne de distillation (2) est équipée à sa périphérie externe d'une collerette (5) susceptible d'être maintenue à force dans un manchon (8) de préférence en silicone, de façon à permettre une liaison étanche du ballon de distillation (1) et du tube condenseur (6).
摘要翻译： 气囊（1）具有用于封闭延伸穿过蒸馏塔（2）的气囊的密封帽，其中气球由玻璃制成。 该盖配有用于测量蒸发蒸气的温度的温度计和连接在冷凝管（6）上的侧向分支（4）。 管连接到接收冷凝物的收集器圆筒。 分支具有裙部（5），其外周保持在硅胶套筒（8）中，用于以密封的方式连接球囊和管。 裙子由与气球相同的材料制成。
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8.发明授权Sensor cell for measuring the concentration of a component in a two component liquid mixture, apparatus and etching system 有权细胞用于测量双组分液体混合物，的装置的组分的浓度和蚀刻工具
公开(公告)号：EP1296132B1
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：EP01122756.8
申请日：2001-09-21
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9.发明授权
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10.发明公开Vorrichtung zur Aufnahme der Siedekurve von Flüssigkeiten 有权Vorrichtung zur Aufnahme der Siedekurve vonFlüssigkeiten
公开(公告)号：EP1645869A1
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：EP05021996.3
申请日：2003-04-23
发明人： Burian, Matthias , Aschauer, Roland
CPC分类号： G01N25/08 , G01N25/10 , G01N25/14 , G01N33/28 , Y10S203/19 , Y10T137/0324
摘要： Bei einer Vorrichtung zur Aufnahme der Siedekurve von Flüssigkeiten, insbesondere Erdölprodukten und/oder Lösungsmitteln, wobei eine Probemenge der zu analysierenden Flüssigkeit verdampft und anschließend kondensiert wird und die Dampftemperatur und die jeweils verdampfte Menge der Flüssigkeit überwacht wird, mit einer Fülleinrichtung (1) zum Einfüllen einer Probemenge in eine Probenschale (7), wobei die Probenschale (7) mit einer Destilliereinrichtung verbunden ist und die Fülleinrichtung (1) und ein Kondenser (15) zum Auffangen des Kondensats mit einer Temperaturregeleinrichtung verbunden sind, weist der Kondenser (15) einen axialen Bereich mit verringertem Durchmesser aus einem für Licht, insbesondere Infrarotlicht durchsichtigen Material, insbesondere Glas, auf, an welchen ein einen axial beweglichen Kolben (22) aufnehmender Bereich mit größerer lichter Weite anschließt.
摘要翻译： 用于记录液体的沸点曲线的方法，由此测量和记录蒸发的蒸气温度和液体量，液体样品蒸发然后冷凝。 使用填充装置，特别是泵，测量和输送样品，并且泵和冷凝物室都保持在限定的，优选相同的温度。 通过已知方法体积测定冷凝体积，称重蒸馏残余物。 本发明还涉及用于方法实现的相应装置。
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