公开(公告)号：EP2883244A1

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：EP13828155.5

申请日：2013-05-20

Applicant: Kla-Tencor Corporation

Inventor： BEZEL, Ilya ,  SHCHEMELININ, Anatoly ,  PANZER, Matthew Alan

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J61/02 ,  H01J61/12 ,  H01J61/125 ,  H01J61/14 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J61/302 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04 ,  H01J65/042

Abstract: A wafer inspection system includes a laser sustained plasma (LSP) light source that generates light with sufficient radiance to enable bright field inspection. Reliability of the LSP light source is improved by introducing an amount of water into the bulb containing the gas mixture that generates the plasma. Radiation generated by the plasma includes substantial radiance in a wavelength range below approximately 190 nanometers that causes damage to the materials used to construct the bulb. The water vapor acts as an absorber of radiation generated by the plasma in the wavelength range that causes damage. In some examples, a predetermined amount of water is introduced into the bulb to provide sufficient absorption. In some other examples, the temperature of a portion of the bulb containing an amount of condensed water is regulate to produce the desired partial pressure of water in the bulb.

Abstract translation: 晶片检查系统包括产生具有足够辐射度的光的激光维持等离子体（LSP）光源，以实现明场检查。 通过将一定量的水引入含有产生等离子体的气体混合物的灯泡中来提高LSP光源的可靠性。 由等离子体产生的辐射包括在低于约190纳米的波长范围内的实质辐射，这导致用于构造灯泡的材料的损坏。 水蒸气作为由等离子体在导致损伤的波长范围内产生的辐射的吸收剂。 在一些实例中，将预定量的水引入灯泡以提供足够的吸收。 在一些其它示例中，调节包含一定量冷凝水的灯泡的一部分的温度以产生灯泡中期望的水分压。

公开(公告)号：EP2879159A1

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：EP14003921.5

申请日：2014-11-21

Applicant: Karlsruher Institut für Technologie

Inventor： Kaiser, Christoph ,  Kling, Rainer ,  Mohan Ögün, Celal

IPC: H01J61/52 ,  H01J61/80 ,  H01J61/90 ,  H01J65/04 ,  B01J19/12

CPC classification number: H01J61/52 ,  H01J61/80 ,  H01J61/90 ,  H01J65/04

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Blitzlichterzeugung mit hoher Leistungsdichte im UV-Bereich unter Verwendung einer Blitzlichtlampe (1), sowie der Blitzlichtlampe (1) selbst. Die Blitzlichtlampe (1) weist einen zumindest teilweise lichtdurchlässigen Außenkolben (2) auf, der ein mit einer ionisierbaren Gasmischung (5) gefülltes Entladungsgefäß (4) und eine Zündungsvorrichtung (6) umgibt. Dabei ist nahe dem Entladungsgefäß (4) eine Temperiervorrichtung angeordnet, wobei die Temperiervorrichtung dazu ausgebildet ist, die ionisierbaren Gasmischung (5) vor der Anregung auf eine vorbestimmte Vorwärmtemperatur zu erwärmen.

Abstract translation: 本发明涉及闪光光产生在UV范围内的高功率密度的方法通过使用闪光灯（1），并且所述闪光灯（1）本身。闪光灯电灯（1）具有至少部分地透光外封套（2）与一 围绕可电离的气体混合物（5）填充放电管（4）和点火装置（6）。 在这种情况下，放电容器（4）附近，其中所述温度控制装置适于在激励到预定的预热温度的前加热电离气体混合物（5）被布置成一个温度控制装置。

公开(公告)号：EP2851934A1

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：EP14185633.6

申请日：2014-09-19

Applicant: Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG

Inventor： Brune, Ekkehard ,  Frerking, Dieter ,  Thöniß, Thomas ,  Spruch, Claus

IPC: H01J65/04 ,  G02B6/14 ,  G02B27/09

CPC classification number: G02B6/0006 ,  G02B6/14 ,  G02B27/0994 ,  H01J65/04 ,  H01S3/005

Abstract: A laser-driven light source encompasses a chamber for accommodating an ionizable gas and an ignition source for ionizing the gas in the chamber for generating a plasma. The light source furthermore encompasses a laser for inputting laser energy into the plasma such that, under the impact of the laser radiation, the plasma emits useful light, which forms the output signal of the light source, wherein provision is made for means for coupling the useful light into a transferring optical fiber. In the case of the light source according to the invention, at least one mode scrambler is assigned to the optical fiber or the optical fibers.

Abstract translation: 激光驱动光源包括用于容纳可电离气体的室和用于电离室中的气体以产生等离子体的点火源。 光源还包括用于将激光能量输入到等离子体中的激光器，使得在激光辐射的冲击下，等离子体发射形成光源的输出信号的有用光，其中提供用于将 有用的光进入转移光纤。 在根据本发明的光源的情况下，至少一个模式扰频器被分配给光纤或光纤。

公开(公告)号：EP2080211A4

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：EP07873533

申请日：2007-10-16

Applicant: LUXIM CORP

Inventor： HOLLINGSWORTH GREGG

IPC: H01J1/50 ,  H01J65/04 ,  H05B41/28

CPC classification number: H01J65/04 ,  H05B41/2806 ,  Y02B20/22

公开(公告)号：EP2591494B1

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：EP11743853.1

申请日：2011-07-05

Applicant: Ceravision Limited

Inventor： NEATE, Andrew Simon ,  PRESTON, Barry

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J65/04 ,  H01J65/044

公开(公告)号：EP1675159A1

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：EP03751471.8

申请日：2003-10-10

Applicant: FUJITSU LIMITED

Inventor： YAMADA, Hitoshi, Fujitsu Limited ,  TOKAI, Akira, Fujitsu Limited ,  ISHIMOTO, Manabu, Fujitsu Limited ,  YAMAZAKI, Yosuke, Fujitsu Limited ,  AWAMOTO, Kenji, Fujitsu Limited ,  SHINOHE, Koji, Fujitsu Limited ,  HIRAKAWA, Hitoshi, Fujitsu Limited

IPC: H01J61/35

CPC classification number: H01J9/20 ,  H01J61/35 ,  H01J65/00 ,  H01J65/04 ,  H01J65/042 ,  H01J2209/015

Abstract: A light-emitting discharge tube in which an outer wall surface of a glass tube is made less susceptible to flaws by forming a protective film on the outer wall surface of the glass tube, a method of fabricating the light-emitting discharge tube, and a protective film forming apparatus are provided. The light-emitting discharge tube defines light-emitting discharge regions by a plurality of external electrodes. The outer wall surface of the light-emitting discharge tube (the glass tube) is coated with the protective film (a metal film, a conductive metal oxide film, an insulating metal oxide film, or an organic film).

Abstract translation: 一种发光放电管，其中通过在玻璃管的外壁表面上形成保护膜而使玻璃管的外壁表面不易发生瑕疵，制造发光放电管的方法和 提供保护膜形成装置。 发光放电管通过多个外部电极来限定发光放电区域。 发光放电管（玻璃管）的外壁表面涂覆有保护膜（金属膜，导电金属氧化物膜，绝缘金属氧化物膜或有机膜）。

公开(公告)号：EP1401009A3

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：EP03020632.0

申请日：2003-09-10

Applicant: OSRAM SYLVANIA INC.

Inventor： Lima, Joseph V. ,  Speer, Richard S.

IPC: H01J61/28 ,  H01J61/72 ,  H01J65/04 ,  H01J61/30

CPC classification number: H01J65/04 ,  H01J61/28

Abstract: An amalgam assembly for a fluorescent lamp (10) includes an exhaust tubulation (20) closed at a free end thereof (24), a glass ball (40) disposed in the tubulation (20), and a mercury amalgam body (32) disposed in the tubulation (20) between the glass ball (40) and the tubulation closed end (24). The tubulation (20) is provided with a pinched portion (22) comprising a plurality of inwardly extending dimples (26) separated from each other and adapted to engage the glass ball (40) to retain the glass ball (40) on a central axis of the tubulation (20). The glass ball (40) rests on the dimples (26) concentrically and gaps between the dimples (26) allow gas to pass therethrough between the glass ball (40) and an inside surface (30) of the tubulation (20).

公开(公告)号：EP1221714A1

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：EP02075993.2

申请日：2001-12-20

Applicant: GENERAL ELECTRIC COMPANY

Inventor： Bader, Attila ,  Sajo, Gabor ,  Mieskoski, James D.

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J65/048 ,  H01J65/04 ,  Y02B20/19

Abstract: An electrodeless low-pressure discharge lamp (10) which comprises a discharge vessel (12), a means for exciting discharge, an UV-to-visible-converting layer (32) and an UV reflecting layer (34). The discharge vessel (12) encloses a gas-tight discharge cavity (14) containing an ionizable fill. The discharge vessel (12) has a light-transmitting bulb portion (16) and a reentrant tube (18) protruding into the discharge cavity (14), and the bulb portion (16) and the reentrant tube (18) each exhibits a surface (21, 20) facing to the discharge cavity (14). The means for exciting discharge is arranged at least partially in the reentrant tube (18). The UV-to-visible-converting layer (32) is applied only to said surface (21) of the bulb portion (16), while the UV reflecting layer (34) is applied to said surface (20) of the reentrant tube (18).

Abstract translation: 一种无电极低压放电灯（10），包括放电容器（12），用于激发放电的装置，UV-可见转换层（32）和UV反射层（34）。 放电容器（12）包围含有可电离填充物的气密排放腔（14）。 放电容器（12）具有透光灯泡部分（16）和突出到放电腔（14）中的折返管（18），并且灯泡部分（16）和折返管（18）各自表现出一个表面 （21,20）面向排放腔（14）。 用于激发放电的装置至少部分地布置在折返管（18）中。 UV-可见转换层（32）仅被施加到灯泡部分（16）的所述表面（21）上，而UV反射层（34）被施加到折返管的所述表面（20） 18）。

公开(公告)号：EP1048620A1

公开(公告)日：2000-11-02

申请号：EP00201427.2

申请日：2000-04-19

Applicant: Philips Corporate Intellectual Property GmbH ,  Koninklijke Philips Electronics N.V.

Inventor： Jüstel, Thomas ,  Nikol, Hans ,  Dirscherl, Jürgen ,  Wiechert, Detlev U.

IPC: C02F1/32 ,  H01J65/04

CPC classification number: H01J65/04 ,  C02F1/325 ,  C02F2201/3228

Abstract: Die Vorrichtung zur Desinfektion von Wasser umfaßt eine Gasentladungslampe mit einem Entladungsgefäß mit Wandungen, die aus einem dielektrischen Material bestehen, die auf ihrer äußeren Oberfläche mindestens mir einer ersten und einer zweiten Elektrode versehen sind und mit einer Gasfüllung, die Xenon enthält, wobei die Wandungen mindestens auf einem Teil ihrer inneren Oberfläche mit einem Überzug, der einen im UV-C-Bereich emittierenden Leuchtstoff enthält, versehen sind.
Eine derartige Vorrichtung zur Desinfektion von Wasser ist jederzeit innerhalb von Millisekunden zu 100% betriebsbereit und sie hat eine spektrale Zusammensetzung der UV-Strahlung, die ausschließlich in dem für die Desinfektionswirkung relevanten Bereich zwischen 230 und 300 nm liegt.

Abstract translation: 壁内表面的至少一部分具有含紫外线-C（UV-C）波段荧光的涂层。 包括气体放电灯的独立权利要求，但不限于水的消毒。

公开(公告)号：EP0942457A2

公开(公告)日：1999-09-15

申请号：EP99102738.4

申请日：1993-09-30

Applicant: FUSION LIGHTING, INC.

Inventor： Ury, Michael G.

IPC: H01J65/04

CPC classification number: G03F7/70016 ,  H01J61/025 ,  H01J61/12 ,  H01J61/30 ,  H01J61/52 ,  H01J61/54 ,  H01J65/04 ,  H01J65/044 ,  H05B41/24

Abstract: An electrodeless lamp comprises an envelope (12) containing a plasma forming fill which includes at least one of sulfur and selenium when excited which emits principally visible light, which is in the form of molecular radiation. The envelope (12) has a diameter of less than one half inch. Means (1) are provided for generating electromagnetic energy. Further means (2, 3, 4, 5, 6) are provided for coupling said electromagnetic energy to said envelope to excite said fill, which in the absence of envelope rotation or with rotation at an insufficient speed, forms a discharge (14) which does not substantially fill the interior volume of said envelope (12). By additional means (13) the envelope (12) is rotated at a fast enough rate so as to cause the discharge (15) formed by the fill to substantially fill the interior volume of the envelope (12).

Abstract translation: 无电极灯包括包含等离子体形成填充物的封套（12），该等离子体形成填充物在被激发时包括硫和硒中的至少一种，其主要发射可见光，其为分子辐射的形式。 信封（12）的直径小于半英寸。 装置（1）用于产生电磁能。 还提供了用于将所述电磁能耦合到所述封套以激励所述填充物的装置（2,3,4,5,6），所述填充物在没有包络旋转或以不足的速度旋转时形成放电（14），其 基本上不填充所述封套（12）的内部容积。 通过附加装置（13），封套（12）以足够快的速度旋转，以使由填充物形成的排出物（15）基本上填充封套（12）的内部容积。