Magnetoelektrischer Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung
    4.
    发明公开
    Magnetoelektrischer Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung 有权
    传感器和Verfahren zu seiner Herstellung

    公开(公告)号:EP2717343A1

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:EP12187606.4

    申请日:2012-10-08

    IPC分类号: H01L41/00

    摘要: Die Erfindung stellt einen neuen Typ magnetoelektrischer Sensoren vor, der sich mit bekannten Verfahren der Dünnschicht-Technik herstellen lässt und eine vielfach höhere ME-Spannung für ein vorbestimmtes Magnetfeld ausgibt als der bekannte Biegebalkensensor. Der als Trennschicht-ME-Sensor bezeichnete Aufbau ist durch die Anordnung einer dicken, dielektrischen Schicht (14) zwischen der ferroelektrischen (10) und der magnetostriktiven Phase (12) gekennzeichnet sowie durch eine einseitig auf dem Ferroelektrikum (10) aufgebrachte Elektrodenanordnung (18), die zum Abgriff der ME-Spannung entlang der Schichtenausdehnung ausgebildet ist. Vorteilhafterweise kann er durch die Beschichtung konventioneller dielektrischer Substrate (14) auf Vorder- und Rückseite mit je einer der Funktionsschichten (10, 12) leicht hergestellt werden.

    摘要翻译: 磁电(ME)传感器具有比铁电层(10)厚的载体层(14)。 载流子层位于磁致伸缩膜(12)和铁电体层之间。 电极组件(18)布置成沿着铁电层上的拉伸信号电压抽头层。 电极组件的手指间距大于铁电层的厚度。 载体层由玻璃,二氧化硅,陶瓷或诸如硅的半导体形成。 包括用于制造磁电(ME)传感器的方法的独立权利要求。