公开(公告)号：EP0993035A4

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：EP99910804

申请日：1999-04-01

申请人： TOKYO ELECTRON LTD

发明人： KUJI MOTOHIRO ,  AKAIKE YUTAKA

IPC分类号： G01R1/06 ,  H01L21/66 ,  B23Q1/38 ,  B23Q1/40 ,  G01R1/10 ,  G01R1/14 ,  G01R31/28 ,  H01L21/68

CPC分类号： G01R31/2851 ,  G01R31/2887

摘要： A probe device (10) comprising a probe card (13), a main chuck (12), an X-stage (14), a Y-stage (15), an elevating mechanism (18) aligned with the extension passing the center of inspection of the probe card (13), a hydrostatic thrust air bearing (19) provided as an elevator, aligned with the elevating mechanism (18) and adapted for elevating the main chuck (12), and gap maintaining means (23) for maintaining the gap between the hydrostatic thrust air bearing (19) and the main chuck (12) to be constant.

摘要翻译： 本发明提供一种探针装置（10），包括探针卡（13），主卡盘（12），X台（14），Y台（15），升降机构（18） （13）的检查，与升降机构（18）对准并适于提升主卡盘（12）的作为电梯提供的静液压推力空气轴承（19），以及用于 保持静压推力空气轴承（19）和主卡盘（12）之间的间隙恒定。

公开(公告)号：EP0385628B1

公开(公告)日：1993-09-01

申请号：EP90301744.0

申请日：1990-02-19

申请人： GEC ALSTHOM LIMITED

发明人： Burgess, Alan Geoffrey

IPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/10 ,  G01R1/12 ,  G01D11/02 ,  G01R1/38

CPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/12

公开(公告)号：EP0346204A1

公开(公告)日：1989-12-13

申请号：EP89401543.7

申请日：1989-06-05

申请人： RADIO CONTROLE S.A.

发明人： Palencher, Jacques ,  Jaillant, Gabriel

IPC分类号： G01R1/10

CPC分类号： G01R1/10

摘要： Appareil de mesure d'une grandeur électri­que, comportant un corps fixe (1) et un équipage mobi­le (6) dont l'axe pivotant (7) est solidaire d'une ai­guille indicatrice (8) se déplaçant devant un cadran gradué (9), appareil caractérisé en ce que l'équipage mobile est monté pivotant sur le corps fixe, d'une part, par des pointes de pivotage (13, 14) et des portées d'appui correspondantes (15, 16) prévues, les unes aux extrémités de l'axe (7), les autres en regard sur le corps fixe (2), d'autre part par des couteaux (17, 18) et des portées d'appui correspondantes fixées les uns sur le corps, les autres à proximité des ex­trémités de l'axe (7), le tranchant (17₁, 18₁) des couteaux et les pointes de pivotage ainsi que les por­tées correspondantes, étant alignés.

摘要翻译： 用于测量电量的器具包括固定体（1）和移动元件（6），其枢转轴（7）牢固地连接到在刻度盘（9）上移动的指针（8）上。 移动元件安装在固定体上，使得其一方面枢转枢转点（13,14）和对应的支撑轴承（15,16），所述点设置在轴（7）的端部处， 并且所述轴承在面向所述点的位置处设置在所述固定体（2）上，并且另一方面使用刀（17,18）和相应的支撑轴承，所述刀被固定在所述主体上，并且所述轴承靠近所述 轴（7）的端部。 刀具的切削刃（171,181）和枢转点以及对应的轴承对齐。 ... ...

公开(公告)号：EP1123465A1

公开(公告)日：2001-08-16

申请号：EP99970716.9

申请日：1999-10-18

申请人： Rose, Vincent H.

发明人： Rose, Vincent H.

IPC分类号： F16C43/00 ,  F16C32/06 ,  G01D11/02 ,  G01D11/12 ,  G01R1/10 ,  G01R3/00

CPC分类号： G01D11/12 ,  F16C17/04 ,  G01D11/02 ,  G01R1/10 ,  G01R7/06 ,  Y10T29/49639 ,  Y10T29/49645

摘要： Fluid thrust bearing containing moving magnet indicating instrument (10) includes a bobbin (12) and transparent lens (14) through which pointer (16) and dial (18) can be viewed. Pointer (16) is mounted to end of shaft (20) having axis of revolution (28) and attached to rotor (30) in bore (34). The rotor (30) is disposed in close-fitting walled cavity (26) so as to define a small substantially air excluded damping fluid filled gap (32) therebetween. Shown near detail arrows (1A) are excess fluid containing reservoir (33) formed by raised torroidal ridges (36, 38). Indicator (10) contains two pairs of field coils (22.1, 22.2, 24.1, 24.2). Adhesion and cohesion help maintain the rotor (30) in cavity (26). The substantial air exclusion helps prevent rotor (30) from moving axially out of cavity (26). A method of assembling to create such conditions therein is also set forth.

摘要翻译： 包含运动磁体指示仪（10）的流体推力轴承包括线轴（12）和透明透镜（14），通过该透镜可以看到指针（16）和表盘（18）。 指针（16）安装到具有旋转轴线（28）的轴（20）的端部并且在孔（34）中连接到转子（30）。 转子（30）设置在紧密配合的壁腔（26）中，以在其间限定基本上排除空气的阻尼流体的间隙（32）。 所示的靠近细节箭头（1A）的是包含由凸起的环形脊（36,38）形成的储存器（33）的过量流体。 指示器（10）包含两对场线圈（22.1,22.2,24.1,24.2）。 粘附力和内聚力有助于将转子（30）保持在空腔（26）中。 大量的空气排除有助于防止转子（30）轴向移出空腔（26）。 还阐述了组装以在其中创建这些条件的方法。

公开(公告)号：EP0284195B1

公开(公告)日：1993-03-31

申请号：EP88301402.9

申请日：1988-02-19

申请人： GENERAL MOTORS CORPORATION

发明人： MacManus, Daniel C.

IPC分类号： G01R5/04 ,  G01R1/10 ,  G01D11/02

CPC分类号： G01D11/02 ,  G01R1/08

公开(公告)号：EP0334940A4

公开(公告)日：1991-01-16

申请号：EP88909254

申请日：1988-08-23

申请人： GRUMMAN AEROSPACE CORPORATION

发明人： HILL, GORDON, S.

IPC分类号： G01R31/08 ,  G01R27/06 ,  G01R31/02 ,  G01R31/11 ,  H04B1/04 ,  H04B17/00 ,  G01R1/10

CPC分类号： G01R31/021 ,  G01R27/06 ,  G01R31/11

公开(公告)号：EP0385628A2

公开(公告)日：1990-09-05

申请号：EP90301744.0

申请日：1990-02-19

申请人： GEC ALSTHOM LIMITED

发明人： Burgess, Alan Geoffrey

IPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/10 ,  G01R1/12 ,  G01D11/02 ,  G01R1/38

CPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/12

摘要： A moving coil measuring instrument wherein at least one end of the axis (3) of rotation of the moving coil (1) is supported so as to permit adjustment of that end of the axis (3) in a direction substantially perpendicular to the axis (3), such adjustment correcting for non-ideal operation of the instrument. The adjustment is effected by rotation of a support member (5, 7), defining the one end, rotatably mounted in a frame member (9) of the instrument, the support member (5, 7) defining the one end at a location displaced from the axis (31, 32) of rotation of the support member (5, 7).

摘要翻译： 一种动圈测量仪器，其中所述动圈（1）的所述旋转轴线（3）的至少一端被支撑以允许在基本上垂直于所述轴线的方向上调节所述轴线（3）的所述端部（ 3），这种调整纠正了仪器的非理想操作。 该调节通过支撑构件（5,7）的旋转来实现，所述支撑构件限定一端，可旋转地安装在所述器具的框架构件（9）中，所述支撑构件（5,7）将所述一端限定在位移位置 从所述支撑构件（5,7）的旋转的轴线（31,32）移动。

公开(公告)号：EP0405010A2

公开(公告)日：1991-01-02

申请号：EP89119661.0

申请日：1989-10-24

申请人： VDO Adolf Schindling AG

发明人： Gutmann, Franz

IPC分类号： G01R7/06 ,  G01R5/16 ,  G01R1/10 ,  G01D11/02

CPC分类号： G01R7/04

摘要： Die Zeigerwelle (1) eines Drehmagnet-Quotientenmeßwerkes ist nahe ihres Zeigers (2) und am ihrem Drehmagneten (4) gegenüberliegenden Ende jeweils mittels eines Radialla­gers (15, 20) gelagert. Das untere, nahe des Drehmagne­ten (4) vorgesehene Radiallager (20) ist durch ein Sack­loch (26) gebildet, in welches die Zeigerwelle (1) ein­greift und in welchem sie auf einer Metallkugel (19) auf­steht. Diese Metallkugel (19) bildet deshalb ein Axial­lager (20).

摘要翻译： 旋转磁铁比表的指针轴1通过一个靠近其指针2的径向轴承（分别为15和20）安装，一个在面向其旋转磁体4的一端安装。下径向轴承20布置在旋转磁体附近 4由盲孔16形成，指孔轴1接合在该盲孔16中，并且该盲孔16搁置在金属球19上。因此该金属球19形成推力轴承20。

公开(公告)号：EP0385628A3

公开(公告)日：1990-10-17

申请号：EP90301744.0

申请日：1990-02-19

申请人： GEC ALSTHOM LIMITED

发明人： Burgess, Alan Geoffrey

IPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/10 ,  G01R1/12 ,  G01D11/02 ,  G01R1/38

CPC分类号： G01R5/08 ,  G01R1/12

摘要： A moving coil measuring instrument wherein at least one end of the axis (3) of rotation of the moving coil (1) is supported so as to permit adjustment of that end of the axis (3) in a direction substantially perpendicular to the axis (3), such adjustment correcting for non-ideal operation of the instrument. The adjustment is effected by rotation of a support member (5, 7), defining the one end, rotatably mounted in a frame member (9) of the instrument, the support member (5, 7) defining the one end at a location displaced from the axis (31, 32) of rotation of the support member (5, 7).

公开(公告)号：EP0284195A2

公开(公告)日：1988-09-28

申请号：EP88301402.9

申请日：1988-02-19

申请人： GENERAL MOTORS CORPORATION

发明人： MacManus, Daniel C.

IPC分类号： G01R5/04 ,  G01R1/10 ,  G01D11/02

CPC分类号： G01D11/02 ,  G01R1/08

摘要： An electric gauge (20) driving a pointer (26) has an extended spindle (22) so that the gauge movement can be substantially spaced from the pointer (26). The gauge (20) includes a spindle (22), an armature (48) driving the spindle (22), a bobbin (38) supporting a bearing (58) for the spindle (22) and electrical coils (46) around the bobbin (38). An outrigger support (18) remote from the bobbin (38) and adjacent the pointer (26) holds another spindle bearing (24) which may be mis-aligned with the bobbin (38). The bearing (58) on the bobbin (38) accommodates for the mis-aligned spindle (22).

摘要翻译： 驱动指针（26）的电表（20）具有延伸主轴（22），使得测量器运动可以与指针（26）基本间隔开。 量规（20）包括主轴（22），驱动主轴（22）的电枢（48），支撑用于主轴（22）的轴承（58）和绕线圈（46）的线轴（38） （38）。 远离线轴（38）并且靠近指针（26）的支腿支架（18）保持可能与线轴（38）不对准的另一主轴轴承（24）。 线轴（38）上的轴承（58）容纳错位对准的主轴（22）。