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公开(公告)号：JP2020030992A
公开(公告)日：2020-02-27
申请号：JP2018156500
申请日：2018-08-23
Applicant: 株式会社オーク製作所
IPC: H01J61/073
Abstract: 【課題】接合強度が高められた電極を備える放電ランプを提供する。 【解決手段】放電管と、放電管内に対向配置される一対の電極とを備え、少なくとも一方の電極が、先端側部材と、導電性の電極支持棒によって支持される後端側部材と、先端側部材と後端側部材との間に設けられた、レニウムを含むタングステン合金からなる中間部材とを有し、各部材間を固相接合することによって構成されており、中間部材は、先端側部材及び後端側部材の少なくとも一方よりも結晶粒径が小さいことを特徴とする放電ランプである。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP6649734B2
公开(公告)日：2020-02-19
申请号：JP2015194535
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社オーク製作所
Inventor： 藤森 昭芳
IPC: H01J61/073
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公开(公告)号：JP2019192497A
公开(公告)日：2019-10-31
申请号：JP2018084295
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社オーク製作所
IPC: F21S2/00 , F21V23/00 , H05B41/288 , H01J61/56 , G03F7/20 , F21Y101/00 , H05B41/24
Abstract: 【課題】すでに装置に設けられた点灯装置を変更することなく、様々な放電ランプなどを使用可能にする。 【解決手段】露光装置10は、直流ランプ用点灯装置19と、点灯装置19に対して着脱自在に装着可能な光源ユニット20とを備え、点灯装置19がイグナイタ19Cを備えるとともに、光源ユニット20もイグナイタ20Cを備える。そして、光源ユニット20のイグナイタ起動抑制回路20Aが、点灯装置19のイグナイタ19Cを起動させないように動作する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP5957262B2
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：JP2012077809
申请日：2012-03-29
Applicant: 株式会社オーク製作所
CPC classification number: H05B41/288 , G03F7/70016 , G03F7/7005 , G03F7/70558
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017069078A
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：JP2015194536
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社オーク製作所
Inventor： 藤森 昭芳
IPC: H01J61/073
Abstract: 【課題】陽極から放射される熱を利用して陰極の昇温を図り、陰極に担持された電子放出に寄与する電子放射性物質の枯渇を防止し、安定したアーク放電を実現する。 【解決手段】放電容器2と、所定間隔を隔て先端部を相対向させて放電容器内に配置された陰極3と陽極4とを備え、陽極に、動作時に当該陽極に発生する熱により陰極を昇温させる熱放射用の溝部31を設ける。熱放射用の溝部には、陽極に発生する熱を、陰極に向けて放射する指向性が付与されている。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP5846821B2
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：JP2011206860
申请日：2011-09-22
Applicant: 株式会社オーク製作所
IPC: H05B41/288
CPC classification number: H05B41/2883 , H05B41/2928
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公开(公告)号：JP2015230865A
公开(公告)日：2015-12-21
申请号：JP2014117421
申请日：2014-06-06
Applicant: 株式会社オーク製作所
IPC: H05B37/02
CPC classification number: Y02B20/42
Abstract: 【課題】点灯する放電ランプのランプ情報を厳密に管理して、適切に点灯できるようにする。 【解決手段】ランプ1に備わるランプ給電線5に、ランプ給電線5を囲むように発信機6を取り付ける。ランプ給電線5に電流が流れることを利用して発信機6は稼働する。発信機6はランプの型式や累積点灯時間等の情報に応じた信号を点灯電流に重畳させて光源装置に伝達し、光源装置7はその信号を参照して、点灯継続の可否、およびランプの点灯電力調整を行う。ランプ情報の伝達に点灯電流を用いることによって、確実にランプ情報の管理ができ、常に安全に点灯できる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：通过严格管理放电灯的灯信息来实现适当的照明。解决方案：发射器6以围绕灯的方式附接到包括在灯1中的灯馈线5 发射机6使用通过灯馈线5的电流进行操作。发射机6通过与发射机6叠加的方式向光源装置发送与诸如灯模型和累积点亮时间之类的信息相关联的信号 照明电流。 光源装置7参照该信号来决定是否继续照明并进行灯的点亮功率调整。 使用灯信息传输的照明电流，可以始终安全地管理灯信息并安全地点亮。
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公开(公告)号：JP5723652B2
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：JP2011074420
申请日：2011-03-30
Applicant: 株式会社オーク製作所
IPC: G01J1/02 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2051 , G01J1/0219 , G01J1/0233 , G01J1/0488 , G03F7/70558 , H01J61/822 , H01J61/86 , H05B41/38
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公开(公告)号：JP2020107424A
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：JP2018243103
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社オーク製作所
Abstract: 【課題】 外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプの放電容器の変形を防ぎながらも、ランプ破損や絶縁破壊の起点となる微小なクサビ状空隙を無くすために、十分に加熱して溶着できる放電容器としたエキシマランプを提供する。 【解決手段】 本発明のエキシマランプは、放電用ガスが封入された放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプであって、放電容器の放電空間を囲む軸方向範囲の一部には、放電容器と被覆管とを一体と成るように溶着したことにより軸方向範囲の他の部分と比較して径方向に厚く形成された異径部を有することを特徴とする放電ランプ。 【選択図】図2
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