公开(公告)号：JPWO2014007167A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：JP2014523715

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社東芝 ,  東芝電子管デバイス株式会社

Inventor： 智成 石原 ,  智成 石原 ,  直紀 赤堀 ,  直紀 赤堀 ,  阿武　秀郎 ,  秀郎 阿武

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J3/06 ,  H01J3/18 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J29/04 ,  H01J29/50 ,  H01J29/62 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094

Abstract: 焦点寸法可変制御と管電流制御を簡便かつ安定して行うことができるX線管を提供する。フィラメント(11)と、該フィラメント(11)が収められる溝部(16)とを有する陰極(10)を備えたX線管において、前記溝部(16)を、同一平面上に前記フィラメント(11)が位置し、前記溝部(16)の幅方向(db)に前記フィラメント(11)を挟む一対の第1底面(S1)と、前記溝部(16)の長さ方向(da)に前記フィラメント(11)及び前記一対の第1底面(S1)を挟み、前記一対の第1底面(S1)より前記溝部(16)の開口(16a)側に位置している第2底面(S2)とを有するものとした。

Abstract translation: 提供一种X射线管，其可以很容易地和稳定地执行聚焦大小可变的控制和管电流控制。 灯丝（11），在具有阴极（10）具有槽的灯丝（11）的X射线管容纳（16），所述槽（16），在同一平面内的灯丝（11） 位置，并且所述凹槽（16）中的横向方向（分贝）的灯丝（11）的一对第一底表面的夹住（S1），在所述凹槽（16）的纵向方向（DA）的灯丝（11） 和夹持所述一对第一底表面（S1）的和具有槽（16）比所述一对第一底表面（S1），其位于（16A）侧上的第二底表面（S2）的一个开口 这是。

公开(公告)号：JP6223973B2

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：JP2014523715

申请日：2013-06-28

Applicant: 東芝電子管デバイス株式会社

Inventor： 石原 智成 ,  赤堀 直紀 ,  阿武 秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/06 ,  H01J19/10 ,  H01J19/42 ,  H01J29/50 ,  H01J3/06 ,  H01J35/14 ,  H01J37/065 ,  A61B6/44 ,  H01J1/16 ,  H01J1/18 ,  H01J1/88 ,  H01J2229/481 ,  H01J2229/4827 ,  H01J2229/4831 ,  H01J2229/50 ,  H01J2229/582 ,  H01J2229/5835 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/06375 ,  H01J23/04 ,  H01J23/083 ,  H01J2893/0005 ,  H01J2893/005 ,  H01J2893/0088 ,  H01J2893/0089 ,  H01J2893/0094 ,  H01J29/04 ,  H01J29/62 ,  H01J3/18

公开(公告)号：JP2012238624A

公开(公告)日：2012-12-06

申请号：JP2011104740

申请日：2011-05-09

Applicant: Canon Inc ,  キヤノン株式会社

Inventor： ITO JUN

IPC: H01L21/027 ,  H01J37/067 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/028 ,  H01J37/067 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/022

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology which is advantageous for shortening the time required for replacing an electrode of an electron gun.SOLUTION: An electron beam lithography apparatus for drawing a pattern on a substrate by electron beams emitted from an electron gun includes: an adjustment chamber for adjusting a standby electrode constituting the electron gun as a standby of an electrode; and a drive mechanism in which the used electrode is detached from the electron gun and the standby electrode adjusted in the adjustment chamber is incorporated into the electron gun. The supply of electric power to the standby electrode is included in adjustment of the standby electrode.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种有利于缩短更换电子枪电极所需的时间的技术。 解决方案：一种用于通过从电子枪发射的电子束在衬底上绘制图案的电子束光刻设备包括：用于调节构成电子枪的备用电极作为电极的待机的调节室; 以及驱动机构，其中使用的电极与电子枪分离，并且在调节室中调节的待机电极被并入到电子枪中。 备用电极的电力供给包括在备用电极的调整中。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT