-
公开(公告)号：JP6953992B2
公开(公告)日：2021-10-27
申请号：JP2017202625
申请日：2017-10-19
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
-
-
公开(公告)号：JP2021031327A
公开(公告)日：2021-03-01
申请号：JP2019151927
申请日：2019-08-22
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/08 , C23C14/34 , C03C17/245 , G02B5/22 , C03C17/34
Abstract: 【課題】成膜条件が簡便に求められる光学膜(セシウムとタングステンと酸素を含む複合タングステン酸化物膜)とスパッタリングターゲットおよび光学膜の成膜方法を提供する。 【解決手段】本発明の光学膜は、可視波長域に透過性を有し、近赤外波長域に吸収性を有すると共に電波透過性を有し、セシウムとタングステンと酸素を含み、300nm〜1700nmの波長域を 50nm毎に 区分して特定される各波長 [300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm] の屈折率nと消衰係数kが特定された数値範囲内にそれぞれ設定されていることを特徴とする。 【選択図】図10
-
公开(公告)号：JP6801497B2
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：JP2017027857
申请日：2017-02-17
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
-
公开(公告)号：JP2020193385A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019101222
申请日：2019-05-30
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】冷却キャンロールの外周面と接する長尺樹脂フィルム面等にスクラッチ傷が付き難い真空成膜装置と真空成膜方法を提供すること。 【解決手段】長尺樹脂フィルム1を巻き出す巻出室100と、フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜室400と、第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜室600と、両面に金属膜が成膜されたフィルムを巻き取る巻取室700とを備え、各成膜室がキャンロール431、651とスパッタリング等の成膜手段を有する真空成膜装置において、巻出室と第一成膜室間にフィルムの第二面側に第一保護フィルム301を重合させる保護フィルム重合室300が設けられ、第一成膜室と第二成膜室間にフィルムの第二面側に第二保護フィルム501を重合しかつ上記第一保護フィルムを分離する保護フィルム重合並びに分離室500が設けられていることを特徴とする。 【選択図】図3
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2020193384A
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2019101221
申请日：2019-05-30
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】冷却キャンロールの外周面と接する長尺樹脂フィルム面等にスクラッチ傷が付き難い真空成膜装置と真空成膜方法を提供すること。 【解決手段】巻出ロール110に巻回された長尺樹脂フィルム1を巻き出す巻出室100と、巻出室から供給された長尺樹脂フィルムの第一面側に金属膜を成膜する成膜室400と、金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムを巻取ロール541に巻き取る巻取室500とを備え、成膜室がロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを外周面に巻き付けて冷却する回転駆動の冷却キャンロール431と、該冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う成膜手段432〜435を有する真空成膜装置であって、上記巻出室と成膜室との間に、搬送中における長尺樹脂フィルムの第二面側に保護フィルム301を重合させて冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムとの間に保護フィルムを介在させる保護フィルム重合室300が設けられていることを特徴とする。 【選択図】図3
-
公开(公告)号：JP6788236B1
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：JP2019212244
申请日：2019-11-25
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/34 , C03C17/245 , C03C17/34 , C23C14/08
Abstract: 【課題】成膜条件が簡便に求められる光学膜(セシウムとタングステンと酸素を含む複合タングステン酸化物膜)とスパッタリングターゲットおよび成膜方法を提供する。 【解決手段】本発明の光学膜は、可視波長域に透過性を有し、近赤外波長域に吸収性を有すると共に電波透過性を有し、セシウムとタングステンと酸素を含み、300nmおよび400nm〜2400nmの波長域を200nm毎に区分して特定される各波長[400nm、600nm、……2400nm]の屈折率nと消衰係数kが、図1に示す光学定数波長分散グラフ図における屈折率の最大値と最小値をグラフ化した「n-max」と「n-min」の範囲内、および、上記光学定数波長分散グラフ図における消衰係数の最大値と最小値をグラフ化した「k-max」と「k-min」の範囲内にそれぞれ設定されていることを特徴とする。 【選択図】図1
-
公开(公告)号：JP6770258B1
公开(公告)日：2020-10-14
申请号：JP2019151927
申请日：2019-08-22
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/34 , C03C17/34 , C03C17/245 , G02B5/22 , C23C14/08
Abstract: 【課題】成膜条件が簡便に求められる光学膜(セシウムとタングステンと酸素を含む複合タングステン酸化物膜)とスパッタリングターゲットおよび光学膜の成膜方法を提供する。 【解決手段】本発明の光学膜は、可視波長域に透過性を有し、近赤外波長域に吸収性を有すると共に電波透過性を有し、セシウムとタングステンと酸素を含み、300nm〜1700nmの波長域を 50nm毎に 区分して特定される各波長 [300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm] の屈折率nと消衰係数kが特定された数値範囲内にそれぞれ設定されていることを特徴とする。 【選択図】図10
-
公开(公告)号：JP2019073785A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017202625
申请日：2017-10-19
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
Abstract: 【課題】長尺基板が巻き付けられないキャンロールの非ラップ部領域から冷却用ガスが漏れないキャンロールとこれを用いた長尺基板処理装置を提供する。 【解決手段】回転リングユニット21と固定リングユニット22とで構成されたロータリージョイントを介しキャンロールに設けられた複数のガス導入路に選択的にガスを供給するガス放出機構付きキャンロールにおいて、固定リングユニットの環状凹溝27a内に嵌入される円弧状パッキン部材42がパッキン取付け治具43のピストン部材により回転リングユニットの回転開口部23a側へ向け付勢して取付けられており、回転開口部を塞いで非ラップ部領域からのガス漏れを防止する。また、ピストン部材のピストン軸91はそのストローク範囲が規制され、円弧状パッキン部材が摩耗してもピストン軸91の先端が回転開口部側へ突き出ることがないため回転開口部の破損を防止できる。 【選択図】図11
-
公开(公告)号：JP6508080B2
公开(公告)日：2019-05-08
申请号：JP2016020564
申请日：2016-02-05
Applicant: 住友金属鉱山株式会社
Inventor： 大上 秀晴
IPC: C23C14/56
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
130
records
(took 0.036 seconds)
