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公开(公告)号：JP2020145368A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019042511
申请日：2019-03-08
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: B01J35/02 , H01L21/304
Abstract: 【課題】原子レベルで除去量を制御可能で、処理対象物の凸部から選択的に除去することができる装置および方法を提供する。 【解決手段】基板処理装置は、基板WFを保持するためのテーブル102と、テーブルに保持された基板の上に処理液を供給するためのノズル108bと、光触媒104を保持するためのヘッド106と、光触媒をコンディショニングするためのコンディショナ150と、ヘッドをテーブルの表面に垂直な方向へ移動させるための第1移動機構と、ヘッドをテーブルとコンディショナとの間で移動させるための第2移動機構と、を有する。 【選択図】図1C
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公开(公告)号：JP2020145217A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019038406
申请日：2019-03-04
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/304
Abstract: 【課題】基板を処理する流体の条件を選定又は決定する際に利用される基板の量を少なく抑え、使用される流体の量を少なくする流体評価用装置及び基板処理装置を提供する。 【解決手段】流体評価用装置は、流体供給部10と、流体供給部10に連結され、流体供給部10から供給された流体を基板Wの表面の一部に接触させるための接触空間を有する筐体50と、筐体50に連結され、接触空間を経た流体を筐体50から排出するための流体排出管90と、を有する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2020138323A
公开(公告)日：2020-09-03
申请号：JP2020091968
申请日：2020-05-27
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 篠崎 弘行
IPC: H01L21/304 , B24B37/30
Abstract: 【課題】回転体のばたつきや振動を発生させない連結機構の回転中心の位置を決定することができる連結機構の回転中心位置決定方法を提供する。 【解決手段】本発明の回転中心位置決定方法は、上側球面軸受52と下側球面軸受55とを備え、回転体7を駆動軸23に傾動可能に連結する連結機構50の回転中心CPを決定する方法である。この回転中心位置決定方法は、回転体7を回転させながら、該回転体7を回転する研磨テーブルに支持された研磨パッド10に摺接させたときに、回転中心CPまわりに傾動する変位部の傾動運動の運動方程式を特定し、傾動運動の運動方程式に基づいて、回転体7のばたつきおよび振動を防止するための傾動運動の安定条件式を特定し、傾動運動の安定条件式に基づいて、回転体7のばたつきおよび振動を防止するための回転中心CPの位置の範囲を算出し、回転中心CPが算出された範囲内にあるように、回転中心CPの位置を決定する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2020131960A
公开(公告)日：2020-08-31
申请号：JP2019028534
申请日：2019-02-20
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 能見 基彦
Abstract: 【課題】遠隔地から需要地に液体または気体を連続して供給可能なドローンシステムを提供する。 【解決手段】ドローンシステム100は、液体または気体が流れる輸送管10と、輸送管10に液体または気体を供給するポンプ装置201と、輸送管10の先端に連結されたノズル11を保持するトップドローン1と、輸送管10の途中に配置されるポンプ40A,40Bが組み込まれた複数のポンプドローン6A,6Bと、トップドローン1、およびポンプドローン6A,6Bに電力ケーブル5を介して電力を供給する動力供給装置3と、を備える。輸送管10は、複数の導管10Aをポンプドローン6A,6Bのポンプ40A,40Bを介して連結することにより形成される。ポンプドローン6A,6Bは、ポンプドローン本体30と、ポンプ40A,40Bを、ポンプドローン本体30に対して傾動可能および/または回動可能に連結する連結機構35と、を備える。 【選択図】図1
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2020126897A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019017336
申请日：2019-02-01
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: H01L21/304 , G05B19/418 , H01L21/02
Abstract: 【課題】動作調整作業を効率的に行い、かつ安全にユニットを調整することができる制御システムを提供する。 【解決手段】制御システム20は、制御装置10と、制御装置10に接続可能な複数の端末装置と、を備えている。制御装置10は、処理プログラムを格納した記憶装置110と、処理プログラムに従って演算を実行する処理装置120と、を備えている。処理プログラムは、アクセス対象ユニットの排他的操作権を複数の端末装置のいずれにも付与していないことを条件として、複数の端末装置のうちの1つである対象端末装置から制御装置10に送信された調整対象ユニットのアクセス対象ユニットへのアクセス操作権の要求に応じて、アクセス操作権を対象端末装置に付与する指令を含む。 【選択図】図6
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公开(公告)号：JP2020125792A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019017673
申请日：2019-02-04
Applicant: 株式会社荏原製作所
Inventor： 眞継 阿沙葵
IPC: F16C19/50
Abstract: 【課題】回転体を容易に解放することが可能で、かつ高速で回転する回転体を回転可能に支持することが可能な支持構造体を提供する。 【解決手段】支持構造体10は、複数のボール12と、複数のボール12を回転可能に収容するハウジング15とを備え、ハウジング15は、湾曲側面15aと、環状溝17を有し、湾曲側面15aは、その上から見たときに円弧形状を有しており、環状溝17は、湾曲側面15aに沿って湾曲した円弧形状を有する円弧溝17aと、湾曲側面15aから離れた位置にある外側溝17bと、円弧溝17aと外側溝17bとを接続する複数の接続溝17cとを含み、湾曲側面15aは、円弧溝17aに沿って延びる開口15bを有し、複数のボール12は、環状溝17内に移動可能に配列されており、複数のボール12の一部は、開口15bから突出している。 【選択図】図3
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公开(公告)号：JP2020125748A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019019951
申请日：2019-02-06
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: F04D15/00
Abstract: 【課題】制御部を介することなくポンプを運転させることのできる給水装置を提供する。 【解決手段】電動機によって駆動されるポンプと、前記電動機の電力を供給するための電力供給制御部と、前記電力供給制御部に前記ポンプの制御指令を送信する制御部と、を備えた給水装置において使用される表示操作器が提案される。前記表示操作器は、前記制御部と接続されているときには、表示操作に関する情報を前記制御部に対する指令に変換して出力し、前記電力供給制御部と接続されているときには、前記表示操作に関する情報を前記電力供給制御部に対する指令に変換して出力するように構成される。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2020125734A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019019320
申请日：2019-02-06
Applicant: 株式会社荏原製作所
Abstract: 【課題】積層造形で形成する場合において、形成される層の平面が大きくなっても形成不良を抑制する。 【解決手段】ポンプの羽根車の設計方法であって、当該羽根車は、揚液にエネルギーを与える複数の主翼を備え、当該羽根車の情報に基づいて、当該羽根車を積層造形するよう当該羽根車の設計を変更する設計変更工程を有する。 【選択図】図10
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